Id-depożizzjoni kimika tal-fwar organiku tal-metall (MOCVD), is-sors tal-materjal gassuż huwa gass kompost organiku tal-metall, u l-proċess bażiku ta' reazzjoni tad-depożizzjoni huwa simili għas-CVD.
1. Gass mhux raffinat tal-MOCVD
Is-sors gassuż użat għall-MOCVD huwa l-gass kompost metall-organiku (MOC). Il-komposti metall-organiċi huma komposti stabbli prodotti billi jiġu kkombinati sustanzi organiċi mal-metalli. Il-komposti organiċi għandhom alkil, aromatiċi. L-alkil jinkludu metil, etil, propil, u butil. L-alkil jinkludi metil, etil, propil, u butil. Aromatiċi jinkludu omologi tal-fenil, trimetil gallju, [Ga(CH3)3], trimetil aluminju [Al(CH3)3] għad-depożizzjoni ta' mikroelettronika, optoelettronika, semikondutturi fit-tlieta, ħames komposti fis-saff tal-film, bħal Ga(CH3)3 ...u l-ammonja tista' tkun fil-wejfer tas-silikon jew fis-saff tat-tkabbir epitassjali tal-lampi LED fis-saff luminixxenti InGaN fuq it-tkabbir epitassjali. Il-lampi LED jiffrankaw l-enerġija b'90% aktar minn lampi inkandexxenti tat-tungstenu, u b'aktar minn 60% aktar minn lampi fluworexxenti. Il-lampi LED huma 90% aktar effiċjenti fl-enerġija mil-lampi inkandexxenti tat-tungstenu u 60% aktar effiċjenti fl-enerġija mil-lampi fluworexxenti. Illum il-ġurnata, kull tip ta' lampi tat-toroq, lampi tad-dawl u lampi tal-karozzi bażikament jużaw films li jarmu d-dawl LED prodotti minn MOCVD.
2. Temperatura ta' depożizzjoni
It-temperatura tad-dekompożizzjoni ta' komposti organiċi tal-metall hija baxxa, u t-temperatura tad-depożizzjoni hija aktar baxxa minn dik tal-HCVD. It-temperatura tad-depożizzjoni tat-TiN depożitat mill-MOCVD tista' titnaqqas għal madwar 500 grad.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 20 ta' Ottubru 2023