It-teknoloġija tad-depożizzjoni kimika tal-fwar tal-plażma msaħħa bl-ark tal-wajer sħun tuża l-pistola tal-ark tal-wajer sħun biex toħroġ plażma tal-ark, imqassra bħala t-teknoloġija PECVD tal-ark tal-wajer sħun. Din it-teknoloġija hija simili għat-teknoloġija tal-kisi tal-joni tal-pistola tal-ark tal-wajer sħun, iżda d-differenza hija li l-film solidu miksub mill-kisi tal-joni tal-pistola tal-ark tal-wajer sħun juża l-fluss tal-elettroni tad-dawl tal-ark emess mill-pistola tal-ark tal-wajer sħun biex isaħħan u jevapora l-metall fil-griġjol, filwaqt li l-PECVD tad-dawl tal-ark tal-wajer sħun jiġi mitmugħ b'gassijiet ta' reazzjoni, bħal CH4 u H2, li jintużaw għad-depożitu ta' films tad-djamanti. Billi tiddependi fuq il-kurrent ta' skariku tal-ark ta' densità għolja emess mill-pistola tal-ark tal-wajer sħun, il-joni tal-gass reattivi jiġu eċċitati biex jiksbu diversi partiċelli attivi, inklużi joni tal-gass, joni atomiċi, gruppi attivi, eċċ.
Fl-apparat PECVD b'ark tal-wajer sħun, żewġ kolji elettromanjetiċi għadhom installati barra l-kamra tal-kisi, u jikkawżaw li l-fluss tal-elettroni ta' densità għolja jdur waqt il-moviment lejn l-anodu, u b'hekk tiżdied il-probabbiltà ta' ħabta u jonizzazzjoni bejn il-fluss tal-elettroni u l-gass tar-reazzjoni. Il-kolja elettromanjetika tista' wkoll tikkonverġi f'kolonna tal-ark biex iżżid id-densità tal-plażma tal-kamra tad-depożizzjoni kollha. Fil-plażma tal-ark, id-densità ta' dawn il-partiċelli attivi hija għolja, u tagħmilha aktar faċli li jiġu depożitati films tad-djamanti u saffi oħra tal-films fuq il-biċċa tax-xogħol.
——Dan l-artiklu ġie ppubblikat minn Guangdong Zhenhua Technology, kumpanijamanifattur ta' magni tal-kisi ottiku.
Ħin tal-posta: 5 ta' Mejju 2023