1. bermanfaat untuk filem penebat sputtering dan penyaduran. Perubahan pesat dalam kekutuban elektrod boleh digunakan untuk terus memancut sasaran penebat untuk mendapatkan filem penebat. Jika sumber kuasa DC digunakan untuk memercik dan mendepositkan filem penebat, filem penebat akan menyekat ion positif daripada memasuki katod, membentuk lapisan pengumpulan ion positif, yang terdedah kepada kerosakan dan pencucuhan. Selepas mendepositkan filem penebat pada anod, elektron disekat daripada memasuki anod, mengakibatkan fenomena kehilangan anod. Apabila menggunakan sumber kuasa RF untuk menyalut filem penebat, disebabkan oleh kekutuban bergantian elektrod, cas positif yang terkumpul pada katod pada separuh pertama kitaran akan dineutralkan oleh elektron pada separuh kedua kitaran, dan elektron yang terkumpul pada anod akan dineutralkan oleh ion positif. Proses yang bertentangan dalam kitaran separuh kedua boleh menghapuskan pengumpulan cas pada elektrod, dan proses nyahcas boleh berjalan seperti biasa.
2. Elektrod frekuensi tinggi menjana bias diri. Dalam peranti RF dengan struktur elektrod rata, elektrod frekuensi tinggi dalam litar yang menggunakan padanan gandingan kapasitif menjana voltan pincang diri. Perbezaan besar antara kelajuan penghijrahan elektron dan kelajuan penghijrahan ion dalam nyahcas membolehkan elektron mencapai kelajuan pergerakan yang lebih besar pada masa tertentu, manakala kelajuan ion yang lebih perlahan menyebabkan pengumpulan. Elektrod frekuensi tinggi berada pada potensi negatif untuk kebanyakan setiap kitaran, mengakibatkan voltan negatif pada rupa bumi, yang merupakan fenomena pincang diri elektrod frekuensi tinggi.
Pincang diri yang dijana oleh elektrod nyahcas RF mempercepatkan pengeboman ion elektrod katod untuk memancarkan elektron sekunder secara berterusan untuk mengekalkan proses nyahcas, dan pincang diri memainkan peranan yang serupa dengan penurunan katod dalam nyahcas cahaya DC. Walaupun menggunakan bekalan kuasa RF, nyahcas boleh menjadi stabil disebabkan oleh voltan pincang diri yang dijana oleh elektrod frekuensi tinggi yang mencapai 500-1000V.
3. Nyahcas frekuensi radio memainkan peranan penting dalam nyahcas cahaya tekanan atmosfera dan nyahcas cahaya penghalang dielektrik yang diperkenalkan kemudian.
Masa siaran: Jun-21-2023