हॉट वायर आर्क एन्हांस्ड प्लाझ्मा केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन टेक्नॉलॉजीमध्ये हॉट वायर आर्क गनचा वापर आर्क प्लाझ्मा उत्सर्जित करण्यासाठी केला जातो, ज्याला हॉट वायर आर्क PECVD तंत्रज्ञान असे संक्षिप्त रूप दिले जाते. ही टेक्नॉलॉजी हॉट वायर आर्क गन आयन कोटिंग टेक्नॉलॉजीसारखीच आहे, परंतु फरक असा आहे की हॉट वायर आर्क गन आयन कोटिंगद्वारे मिळवलेली सॉलिड फिल्म क्रूसिबलमधील धातू गरम करण्यासाठी आणि बाष्पीभवन करण्यासाठी हॉट वायर आर्क गनद्वारे उत्सर्जित होणाऱ्या आर्क लाइट इलेक्ट्रॉन फ्लोचा वापर करते, तर हॉट वायर आर्क लाइट PECVD मध्ये CH4 आणि H2 सारख्या रिअॅक्शन गॅसेसचा समावेश असतो, ज्याचा वापर डायमंड फिल्म्स जमा करण्यासाठी केला जातो. हॉट वायर आर्क गनद्वारे उत्सर्जित होणाऱ्या हाय-डेन्सिटी आर्क डिस्चार्ज करंटवर अवलंबून राहून, रिअॅक्टिव्ह गॅस आयन गॅस आयन, अणु आयन, सक्रिय गट इत्यादींसह विविध सक्रिय कण मिळविण्यासाठी उत्साहित होतात.
हॉट वायर आर्क PECVD डिव्हाइसमध्ये, कोटिंग रूमच्या बाहेर दोन इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल अजूनही स्थापित केलेले असतात, ज्यामुळे एनोडकडे जाताना उच्च-घनतेचा इलेक्ट्रॉन प्रवाह फिरतो, ज्यामुळे इलेक्ट्रॉन प्रवाह आणि प्रतिक्रिया वायू यांच्यात टक्कर आणि आयनीकरण होण्याची शक्यता वाढते. इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल संपूर्ण डिपॉझिशन चेंबरची प्लाझ्मा घनता वाढवण्यासाठी आर्क कॉलममध्ये देखील एकत्रित होऊ शकते. आर्क प्लाझ्मामध्ये, या सक्रिय कणांची घनता जास्त असते, ज्यामुळे वर्कपीसवर डायमंड फिल्म्स आणि इतर फिल्म लेयर्स जमा करणे सोपे होते.
——हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ टेक्नॉलॉजीने प्रकाशित केला आहे, एऑप्टिकल कोटिंग मशीनचे निर्माता.
पोस्ट वेळ: मे-०५-२०२३