(१) स्पटरिंग गॅस. स्पटरिंग गॅसमध्ये उच्च स्पटरिंग उत्पन्न, लक्ष्यित सामग्रीसाठी निष्क्रिय, स्वस्त, उच्च शुद्धता मिळविण्यास सोपे आणि इतर वैशिष्ट्ये असावीत. सर्वसाधारणपणे, आर्गॉन हा अधिक आदर्श स्पटरिंग गॅस आहे.
(२) स्पटरिंग व्होल्टेज आणि सब्सट्रेट व्होल्टेज. या दोन पॅरामीटर्सचा फिल्मच्या वैशिष्ट्यांवर महत्त्वाचा प्रभाव पडतो, स्पटरिंग व्होल्टेज केवळ डिपॉझिशन रेटवरच परिणाम करत नाही तर डिपॉझिट केलेल्या फिल्मच्या रचनेवरही गंभीर परिणाम करतो. सब्सट्रेट पोटेंशियल थेट मानवी इंजेक्शनच्या इलेक्ट्रॉन किंवा आयन प्रवाहावर परिणाम करते. जर सब्सट्रेट ग्राउंड केला असेल तर त्यावर समतुल्य इलेक्ट्रॉनचा भडिमार केला जातो; जर सब्सट्रेट सस्पेंड केला असेल तर तो ग्लो डिस्चार्ज क्षेत्रात सस्पेंशन पोटेंशियल V1 च्या ग्राउंडच्या सापेक्ष किंचित नकारात्मक पोटेन्शियल मिळविण्यासाठी असतो आणि सब्सट्रेट V2 च्या सभोवतालच्या प्लाझ्माची पोटेंशियल सब्सट्रेट पोटेंशियलपेक्षा जास्त असते, ज्यामुळे इलेक्ट्रॉन आणि पॉझिटिव्ह आयनचा काही प्रमाणात भडिमार होईल, ज्यामुळे फिल्मची जाडी, रचना आणि इतर वैशिष्ट्यांमध्ये बदल होतील: जर सब्सट्रेटने हेतुपुरस्सर बायस व्होल्टेज लागू केले तर ते इलेक्ट्रॉन किंवा आयनच्या विद्युत स्वीकृतीच्या ध्रुवीयतेनुसार असेल, तर ते केवळ सब्सट्रेट शुद्ध करू शकत नाही आणि फिल्मची आसंजन वाढवू शकत नाही, तर फिल्मची रचना देखील बदलू शकते. रेडिओ फ्रिक्वेन्सी स्पटरिंग कोटिंगमध्ये, कंडक्टर मेम्ब्रेन प्लस डीसी बायस तयार करणे: डायलेक्ट्रिक मेम्ब्रेन प्लस ट्यूनिंग बायस तयार करणे.
(३) सब्सट्रेट तापमान. सब्सट्रेट तापमानाचा फिल्मच्या अंतर्गत ताणावर जास्त परिणाम होतो, कारण तापमान थेट सब्सट्रेटवर जमा झालेल्या अणूंच्या क्रियाकलापांवर परिणाम करते, त्यामुळे फिल्मची रचना, रचना, सरासरी धान्य आकार, क्रिस्टल अभिमुखता आणि अपूर्णता निश्चित होते.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: जानेवारी-०५-२०२४