Металл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD), хийн материалын эх үүсвэр нь металлын органик нийлмэл хий бөгөөд тунадасжуулах үндсэн урвал нь ЗСХ-тэй төстэй.
1.MOCVD түүхий хий
MOCVD-д ашигладаг хийн эх үүсвэр нь металл-органик нэгдэл (MOC) хий юм. Металл-органик нэгдлүүд нь органик бодисыг металлтай хослуулан гаргаж авсан тогтвортой нэгдлүүд юм. Органик нэгдлүүд нь алкил, анхилуун үнэртэй байдаг. Алкилд метил, этил, пропил, бутил орно. Алкилд метил, этил, пропил, бутил орно. Үнэрт бодис, үүнд фенил гомологууд, триметил галли, [Ga(CH3)3], триметил хөнгөн цагаан [Al(CH3)3] микроэлектроник, оптоэлектроник, хагас дамжуулагчийг давхаргын гурав, таван нэгдлүүд, тухайлбал Ga(CH).3)3 болон аммиак нь InGaN гэрэлтэгч давхарга дахь LED чийдэнгийн эпитаксиаль өсөлт дээр цахиур ялтсууд эсвэл индранил байж болно. LED чийдэн нь вольфрамын улайсгасан чийдэнгээс илүү эрчим хүч хэмнэдэг 90%, 60% -иас илүү хэмнэлттэй флюресцент чийдэн юм. LED чийдэн нь вольфрамын улайсдаг чийдэнгээс 90%, флюресцент чийдэнгээс 60% илүү хэмнэлттэй байдаг. Өнөө үед гудамжны бүх төрлийн чийдэн, гэрэлтүүлгийн чийдэн, автомашины чийдэнг үндсэндээ MOCVD-ийн үйлдвэрлэсэн LED гэрэл цацруулагч хальсыг ашигладаг.
2. Туналтын температур
Органик металлын нэгдлүүдийн задралын температур бага, тунадасны температур нь HCVD-ээс бага байдаг. MOCVD-ийн хадгалсан TiN-ийн хуримтлалын температурыг ойролцоогоор 500 градус хүртэл бууруулж болно.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023 оны 10-р сарын 20-ны хооронд