Халуун утсан нуман сайжруулсан плазмын химийн уурын хуримтлуулах технологи нь халуун утсан нуман бууг ашиглан нуман плазмыг ялгаруулдаг бөгөөд үүнийг товчилсон халуун утсан нуман PECVD технологи гэж нэрлэдэг. Энэ технологи нь халуун утсан нуман бууны ион бүрэх технологитой төстэй боловч ялгаатай нь халуун утсан нуман бууны ионы бүрээсээр олж авсан цул хальс нь халуун утсан нуман буугаар ялгардаг нуман гэрлийн электрон урсгалыг тигель доторх металыг халааж, ууршуулдаг бол халуун утсан нуман гэрлийн PECVD нь урвалын хий, тухайлбал, CH4, алмазыг хуримтлуулахад ашигладаг. Халуун утсан нуман буугаар ялгарах өндөр нягтралтай нуман гүйдэлд тулгуурлан реактив хийн ионууд нь хийн ион, атомын ион, идэвхтэй бүлгүүд гэх мэт янз бүрийн идэвхтэй хэсгүүдийг олж авахын тулд өдөөгддөг.
Халуун утсан нуман PECVD төхөөрөмжид бүрэх өрөөний гадна хоёр цахилгаан соронзон ороомог суурилуулсан хэвээр байгаа нь анод руу шилжих хөдөлгөөний явцад өндөр нягтралтай электрон урсгалыг эргүүлж, электрон урсгал ба урвалын хийн хооронд мөргөлдөх, иончлох магадлалыг нэмэгдүүлдэг. Цахилгаан соронзон ороомог нь мөн бүхэл хуримтлуулах камерын плазмын нягтыг нэмэгдүүлэхийн тулд нуман багана руу нийлж болно. Нумын сийвэн дэх эдгээр идэвхтэй хэсгүүдийн нягт өндөр байдаг тул бэлдэц дээр алмазан хальс болон бусад хальсан давхаргыг байрлуулахад хялбар болгодог.
——Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа Технологи, aоптик бүрэх машин үйлдвэрлэгч.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 5-р сарын 05-ны хооронд