സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ

1、സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന്റെ സവിശേഷതകൾ
പരമ്പരാഗത വാക്വം ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന് ഇനിപ്പറയുന്ന സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്:
(1) ഏതൊരു വസ്തുവിനെയും, പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കം, കുറഞ്ഞ നീരാവി മർദ്ദ മൂലകങ്ങളും സംയുക്തങ്ങളും, സ്പൂട്ടർ ചെയ്യാൻ കഴിയും. അത് ഒരു ഖരവസ്തുവായിരിക്കുന്നിടത്തോളം, അത് ഒരു ലോഹമായാലും, അർദ്ധചാലകമായാലും, ഇൻസുലേറ്ററായാലും, സംയുക്തമായാലും, മിശ്രിതമായാലും, അത് ഒരു ബ്ലോക്കായാലും, ഗ്രാനുലാർ മെറ്റീരിയൽ ഒരു ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലായി ഉപയോഗിക്കാം. ഇൻസുലേറ്റിംഗ് വസ്തുക്കളും ഓക്സൈഡുകൾ പോലുള്ള അലോയ്കളും സ്പൂട്ടർ ചെയ്യുമ്പോൾ ചെറിയ വിഘടനവും ഭിന്നസംഖ്യയും സംഭവിക്കുന്നതിനാൽ, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന്റേതിന് സമാനമായ ഏകീകൃത ഘടകങ്ങളുള്ള നേർത്ത ഫിലിമുകളും അലോയ് ഫിലിമുകളും, സങ്കീർണ്ണമായ കോമ്പോസിഷനുകളുള്ള സൂപ്പർകണ്ടക്റ്റിംഗ് ഫിലിമുകളും പോലും തയ്യാറാക്കാൻ അവ ഉപയോഗിക്കാം.´ കൂടാതെ, ഓക്സൈഡുകൾ, നൈട്രൈഡുകൾ, കാർബൈഡുകൾ, സിലൈസൈഡുകൾ തുടങ്ങിയ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൽ നിന്ന് പൂർണ്ണമായും വ്യത്യസ്തമായ സംയുക്തങ്ങളുടെ ഫിലിമുകൾ നിർമ്മിക്കാനും റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് രീതി ഉപയോഗിക്കാം.
(2) സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിമിനും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനും ഇടയിൽ നല്ല അഡീഷൻ. സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങളുടെ ഊർജ്ജം ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങളേക്കാൾ 1-2 ഓർഡർ കൂടുതലായതിനാൽ, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ നിക്ഷേപിച്ചിരിക്കുന്ന ഉയർന്ന ഊർജ്ജ കണങ്ങളുടെ ഊർജ്ജ പരിവർത്തനം ഉയർന്ന താപ ഊർജ്ജം സൃഷ്ടിക്കുന്നു, ഇത് സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങളുടെ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിലേക്കുള്ള അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങളുടെ ഒരു ഭാഗം വ്യത്യസ്ത അളവുകളിലേക്ക് കുത്തിവയ്ക്കപ്പെടും, ഇത് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ ഒരു സ്യൂഡോ-ഡിഫ്യൂഷൻ പാളി രൂപപ്പെടുത്തും, അവിടെ സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങളും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയലിന്റെ ആറ്റങ്ങളും പരസ്പരം "മിശ്രണം ചെയ്യപ്പെടുന്നു". കൂടാതെ, സ്പൂട്ടറിംഗ് കണങ്ങളുടെ ബോംബാക്രമണ സമയത്ത്, പ്ലാസ്മ സോണിൽ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് എല്ലായ്പ്പോഴും വൃത്തിയാക്കുകയും സജീവമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് മോശമായി പറ്റിപ്പിടിച്ചിരിക്കുന്ന അവക്ഷിപ്ത ആറ്റങ്ങളെ നീക്കം ചെയ്യുകയും, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഉപരിതലത്തെ ശുദ്ധീകരിക്കുകയും സജീവമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. തൽഫലമായി, സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിം പാളിയുടെ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിലേക്കുള്ള അഡീഷൻ വളരെയധികം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
(3) സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന്റെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, കുറഞ്ഞ പിൻഹോളുകൾ, ക്രൂസിബിൾ മലിനീകരണം ഇല്ലാത്തതിനാൽ ഫിലിം ലെയറിന്റെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ വാക്വം നീരാവി നിക്ഷേപത്തിൽ ഇത് ഒഴിവാക്കാനാവില്ല.
(4) ഫിലിം കട്ടിയുടെ നല്ല നിയന്ത്രണക്ഷമതയും ആവർത്തനക്ഷമതയും. സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗ് സമയത്ത് ഡിസ്ചാർജ് കറന്റും ടാർഗെറ്റ് കറന്റും വെവ്വേറെ നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയുന്നതിനാൽ, ടാർഗെറ്റ് കറന്റ് നിയന്ത്രിക്കുന്നതിലൂടെ ഫിലിം കനം നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും, അതിനാൽ, ഫിലിം കനത്തിന്റെ നിയന്ത്രണക്ഷമതയും സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന്റെ ഒന്നിലധികം സ്പട്ടറിംഗ് വഴി ഫിലിം കനത്തിന്റെ പുനരുൽപാദനക്ഷമതയും നല്ലതാണ്, കൂടാതെ മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച കട്ടിയുള്ള ഫിലിം ഫലപ്രദമായി പൂശാൻ കഴിയും. കൂടാതെ, സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന് ഒരു വലിയ പ്രദേശത്ത് ഒരു ഏകീകൃത ഫിലിം കനം നേടാൻ കഴിയും. എന്നിരുന്നാലും, പൊതുവായ സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് (പ്രധാനമായും ദ്വിധ്രുവ സ്പട്ടറിംഗ്), ഉപകരണങ്ങൾ സങ്കീർണ്ണമാണ് കൂടാതെ ഉയർന്ന മർദ്ദമുള്ള ഉപകരണം ആവശ്യമാണ്; സ്പട്ടർ ഡിപ്പോസിഷന്റെ ഫിലിം രൂപീകരണ വേഗത കുറവാണ്, വാക്വം ബാഷ്പീകരണ ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് 0.1~5nm/min ആണ്, അതേസമയം സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് 0.01~0.5nm/min ആണ്; അടിവസ്ത്ര താപനില വർദ്ധനവ് ഉയർന്നതും അശുദ്ധ വാതകത്തിന് ഇരയാകുന്നതുമാണ്. എന്നിരുന്നാലും, RF സ്പട്ടറിംഗ്, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ എന്നിവയുടെ വികസനം കാരണം, വേഗത്തിലുള്ള സ്പട്ടറിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ നേടുന്നതിലും അടിവസ്ത്ര താപനില കുറയ്ക്കുന്നതിലും വലിയ പുരോഗതി കൈവരിച്ചിട്ടുണ്ട്. കൂടാതെ, സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, പ്ലാനർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പുതിയ സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗ് രീതികൾ അന്വേഷിച്ചുവരികയാണ് - സീറോ-പ്രഷർ സ്പട്ടറിംഗ് വരെ സ്പട്ടറിംഗ് വായു മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നതിന്, സ്പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് ഇൻടേക്ക് വാതകത്തിന്റെ മർദ്ദം പൂജ്യമായിരിക്കും.