1. ഇൻസുലേഷൻ ഫിലിം സ്പട്ടറിംഗിനും പ്ലേറ്റിംഗിനും ഗുണം ചെയ്യും. ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഫിലിമുകൾ ലഭിക്കുന്നതിന് ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ നേരിട്ട് സ്പട്ടർ ചെയ്യുന്നതിന് ഇലക്ട്രോഡ് പോളാരിറ്റിയിലെ ദ്രുത മാറ്റം ഉപയോഗിക്കാം. ഇൻസുലേഷൻ ഫിലിം സ്പട്ടർ ചെയ്യാനും നിക്ഷേപിക്കാനും ഒരു ഡിസി പവർ സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിക്കുകയാണെങ്കിൽ, ഇൻസുലേഷൻ ഫിലിം കാഥോഡിലേക്ക് പോസിറ്റീവ് അയോണുകൾ പ്രവേശിക്കുന്നത് തടയുകയും ഒരു പോസിറ്റീവ് അയോൺ അക്യുമുലേഷൻ പാളി രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യും, ഇത് തകർച്ചയ്ക്കും ജ്വലനത്തിനും സാധ്യതയുണ്ട്. ആനോഡിൽ ഒരു ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഫിലിം നിക്ഷേപിച്ച ശേഷം, ഇലക്ട്രോണുകൾ ആനോഡിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുന്നത് തടയപ്പെടുന്നു, ഇത് ആനോഡ് അപ്രത്യക്ഷമാകുന്ന പ്രതിഭാസത്തിന് കാരണമാകുന്നു. ഇൻസുലേഷൻ ഫിലിം പൂശാൻ ഒരു RF പവർ സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, ഇലക്ട്രോഡുകളുടെ ഒന്നിടവിട്ടുള്ള പോളാരിറ്റി കാരണം, സൈക്കിളിന്റെ ആദ്യ പകുതിയിൽ കാഥോഡിൽ അടിഞ്ഞുകൂടിയ പോസിറ്റീവ് ചാർജുകൾ സൈക്കിളിന്റെ രണ്ടാം പകുതിയിൽ ഇലക്ട്രോണുകളാൽ നിർവീര്യമാക്കപ്പെടും, ആനോഡിൽ അടിഞ്ഞുകൂടിയ ഇലക്ട്രോണുകൾ പോസിറ്റീവ് അയോണുകളാൽ നിർവീര്യമാക്കപ്പെടും. രണ്ടാം പകുതി ചക്രത്തിലെ വിപരീത പ്രക്രിയയ്ക്ക് ഇലക്ട്രോഡിലെ ചാർജുകളുടെ ശേഖരണം ഇല്ലാതാക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ ഡിസ്ചാർജ് പ്രക്രിയ സാധാരണഗതിയിൽ തുടരാനും കഴിയും.
2. ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഇലക്ട്രോഡുകൾ സ്വയം ബയസ് സൃഷ്ടിക്കുന്നു. ഒരു ഫ്ലാറ്റ് ഇലക്ട്രോഡ് ഘടനയുള്ള RF ഉപകരണത്തിൽ, കപ്പാസിറ്റീവ് കപ്ലിംഗ് മാച്ചിംഗ് ഉപയോഗിക്കുന്ന സർക്യൂട്ടിലെ ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഇലക്ട്രോഡുകൾ സ്വയം ബയസ് വോൾട്ടേജ് സൃഷ്ടിക്കുന്നു. ഇലക്ട്രോൺ മൈഗ്രേഷൻ വേഗതയും ഡിസ്ചാർജിലെ അയോൺ മൈഗ്രേഷൻ വേഗതയും തമ്മിലുള്ള വലിയ വ്യത്യാസം ഇലക്ട്രോണുകളെ ഒരു നിശ്ചിത സമയത്ത് കൂടുതൽ ചലന വേഗത കൈവരിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, അതേസമയം കുറഞ്ഞ അയോൺ വേഗത സഞ്ചയത്തിന് കാരണമാകുന്നു. ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഇലക്ട്രോഡ് ഓരോ ചക്രത്തിന്റെയും ഭൂരിഭാഗവും നെഗറ്റീവ് പൊട്ടൻഷ്യലിലാണ്, ഇത് ഭൂപ്രദേശത്ത് ഒരു നെഗറ്റീവ് വോൾട്ടേജിന് കാരണമാകുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഇലക്ട്രോഡിന്റെ സ്വയം ബയസിന്റെ പ്രതിഭാസമാണ്.
RF ഡിസ്ചാർജ് ഇലക്ട്രോഡ് സൃഷ്ടിക്കുന്ന സെൽഫ് ബയസ്, ഡിസ്ചാർജ് പ്രക്രിയ നിലനിർത്തുന്നതിനായി ദ്വിതീയ ഇലക്ട്രോണുകൾ തുടർച്ചയായി പുറത്തുവിടുന്നതിനായി കാഥോഡ് ഇലക്ട്രോഡിന്റെ അയോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റിനെ ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു, കൂടാതെ DC ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിലെ കാഥോഡ് ഡ്രോപ്പിന് സമാനമായ പങ്ക് സെൽഫ് ബയസ് വഹിക്കുന്നു. ഒരു RF പവർ സപ്ലൈ ഉപയോഗിക്കുന്നുണ്ടെങ്കിലും, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഇലക്ട്രോഡ് 500-1000V വരെ എത്തുമ്പോൾ ഉണ്ടാകുന്ന സെൽഫ് ബയസ് വോൾട്ടേജ് കാരണം ഡിസ്ചാർജ് സ്ഥിരതയുള്ളതായിരിക്കും.
3. പിന്നീട് അവതരിപ്പിച്ച അന്തരീക്ഷമർദ്ദ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിലും ഡൈഇലക്ട്രിക് ബാരിയർ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിലും റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി ഡിസ്ചാർജ് ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂൺ-21-2023