ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് എൻഹാൻസ്ഡ് പ്ലാസ്മ കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ ആർക്ക് പ്ലാസ്മ പുറപ്പെടുവിക്കാൻ ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇതിനെ ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് PECVD സാങ്കേതികവിദ്യ എന്ന് ചുരുക്കി വിളിക്കുന്നു. ഈ സാങ്കേതികവിദ്യ ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് സമാനമാണ്, എന്നാൽ വ്യത്യാസം എന്തെന്നാൽ, ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ അയോൺ കോട്ടിംഗ് വഴി ലഭിക്കുന്ന സോളിഡ് ഫിലിം, ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ പുറത്തുവിടുന്ന ആർക്ക് ലൈറ്റ് ഇലക്ട്രോൺ ഫ്ലോ ഉപയോഗിച്ച് ക്രൂസിബിളിലെ ലോഹത്തെ ചൂടാക്കി ബാഷ്പീകരിക്കുന്നു എന്നതാണ്, അതേസമയം ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ലൈറ്റ് PECVD ഡയമണ്ട് ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന CH4, H2 പോലുള്ള പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് നൽകുന്നു. ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് കറന്റിനെ ആശ്രയിച്ച്, റിയാക്ടീവ് ഗ്യാസ് അയോണുകൾ വാതക അയോണുകൾ, ആറ്റോമിക് അയോണുകൾ, സജീവ ഗ്രൂപ്പുകൾ മുതലായവ ഉൾപ്പെടെ വിവിധ സജീവ കണികകൾ ലഭിക്കാൻ ഉത്തേജിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു.
ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് PECVD ഉപകരണത്തിൽ, കോട്ടിംഗ് റൂമിന് പുറത്ത് രണ്ട് വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലുകൾ ഇപ്പോഴും സ്ഥാപിച്ചിട്ടുണ്ട്, ഇത് ആനോഡിലേക്കുള്ള ചലനത്തിനിടയിൽ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹം കറങ്ങാൻ കാരണമാകുന്നു, ഇത് ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തിനും പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകത്തിനും ഇടയിലുള്ള കൂട്ടിയിടിയുടെയും അയോണൈസേഷന്റെയും സാധ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. മുഴുവൻ ഡിപ്പോസിഷൻ ചേമ്പറിന്റെയും പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലിന് ഒരു ആർക്ക് കോളമായി സംയോജിപ്പിച്ച് കഴിയും. ആർക്ക് പ്ലാസ്മയിൽ, ഈ സജീവ കണങ്ങളുടെ സാന്ദ്രത കൂടുതലാണ്, ഇത് വർക്ക്പീസിൽ ഡയമണ്ട് ഫിലിമുകളും മറ്റ് ഫിലിം പാളികളും നിക്ഷേപിക്കുന്നത് എളുപ്പമാക്കുന്നു.
——ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത് ഗ്വാങ്ഡോങ് ഷെൻഹുവ ടെക്നോളജി, എഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളുടെ നിർമ്മാതാവ്.
പോസ്റ്റ് സമയം: മെയ്-05-2023