(1) സ്പട്ടറിംഗ് ഗ്യാസ്. സ്പട്ടറിംഗ് ഗ്യാസ് ഉയർന്ന സ്പട്ടറിംഗ് വിളവ്, ലക്ഷ്യ വസ്തുവിന് നിഷ്ക്രിയം, വിലകുറഞ്ഞത്, ഉയർന്ന ശുദ്ധി ലഭിക്കാൻ എളുപ്പം തുടങ്ങിയ സവിശേഷതകൾ ഉണ്ടായിരിക്കണം. സാധാരണയായി പറഞ്ഞാൽ, ആർഗോൺ ആണ് ഏറ്റവും അനുയോജ്യമായ സ്പട്ടറിംഗ് ഗ്യാസ്.
(2) സ്പട്ടറിംഗ് വോൾട്ടേജും സബ്സ്ട്രേറ്റ് വോൾട്ടേജും. ഈ രണ്ട് പാരാമീറ്ററുകളും ഫിലിമിന്റെ സ്വഭാവസവിശേഷതകളിൽ ഒരു പ്രധാന സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു, സ്പട്ടറിംഗ് വോൾട്ടേജ് ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കിനെ മാത്രമല്ല, നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിന്റെ ഘടനയെയും ഗുരുതരമായി ബാധിക്കുന്നു. മനുഷ്യ കുത്തിവയ്പ്പിന്റെ ഇലക്ട്രോൺ അല്ലെങ്കിൽ അയോൺ പ്രവാഹത്തെ സബ്സ്ട്രേറ്റ് പൊട്ടൻഷ്യൽ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു. സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഗ്രൗണ്ട് ചെയ്തിട്ടുണ്ടെങ്കിൽ, അത് തുല്യമായ ഇലക്ട്രോണുകളാൽ ബോംബാർഡ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു; സബ്സ്ട്രേറ്റ് സസ്പെൻഡ് ചെയ്തിട്ടുണ്ടെങ്കിൽ, സസ്പെൻഷൻ പൊട്ടൻഷ്യൽ V1 ന്റെ ഗ്രൗണ്ടുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ അല്പം നെഗറ്റീവ് പൊട്ടൻഷ്യൽ ലഭിക്കുന്നതിന് അത് ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ഏരിയയിലാണ്, കൂടാതെ സബ്സ്ട്രേറ്റ് V2 ന് ചുറ്റുമുള്ള പ്ലാസ്മയുടെ പൊട്ടൻഷ്യൽ സബ്സ്ട്രേറ്റ് പൊട്ടൻഷ്യലിനേക്കാൾ കൂടുതലായിരിക്കണം, ഇത് ഒരു നിശ്ചിത അളവിലുള്ള ഇലക്ട്രോണുകളുടെയും പോസിറ്റീവ് അയോണുകളുടെയും ബോംബാർഡ്മെന്റിന് കാരണമാകും, ഇത് ഫിലിം കനം, ഘടന, മറ്റ് സവിശേഷതകൾ എന്നിവയിൽ മാറ്റങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും: സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഉദ്ദേശ്യത്തോടെ ബയസ് വോൾട്ടേജ് പ്രയോഗിച്ചാൽ, അത് ഇലക്ട്രോണുകളുടെയോ അയോണുകളുടെയോ വൈദ്യുത സ്വീകാര്യതയുടെ ധ്രുവതയ്ക്ക് അനുസൃതമാണെങ്കിൽ, സബ്സ്ട്രേറ്റ് ശുദ്ധീകരിക്കാനും ഫിലിമിന്റെ അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കാനും മാത്രമല്ല, ഫിലിമിന്റെ ഘടന മാറ്റാനും കഴിയും. റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിൽ, കണ്ടക്ടർ മെംബ്രൺ പ്ലസ് ഡിസി ബയസ് തയ്യാറാക്കൽ: ഡൈഇലക്ട്രിക് മെംബ്രൺ പ്ലസ് ട്യൂണിംഗ് ബയസ് തയ്യാറാക്കൽ.
(3) അടിവസ്ത്ര താപനില. ഫിലിമിന്റെ ആന്തരിക സമ്മർദ്ദത്തിൽ അടിവസ്ത്ര താപനിലയ്ക്ക് വലിയ സ്വാധീനമുണ്ട്, കാരണം ഇത് അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിച്ചിരിക്കുന്ന ആറ്റങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനത്തെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു, അതുവഴി ഫിലിമിന്റെ ഘടന, ഘടന, ശരാശരി ധാന്യ വലുപ്പം, ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷൻ, അപൂർണ്ണത എന്നിവ നിർണ്ണയിക്കുന്നു.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: ജനുവരി-05-2024