1, Nga ahuatanga o te paninga sputter
Ka whakaritea ki te paninga whakaetonga korehau tikanga, ko te paninga sputtering nga ahuatanga e whai ake nei:
(1) Ka taea te pupuhi i nga matū, ina koa te ira whakarewa teitei, te iti o te pehanga kohu me nga pūhui. I te mea he totoka, ahakoa he konganuku, semiconductor, insulator, pūhui me te ranunga, me etahi atu, ahakoa he poraka, ka taea te whakamahi i nga mea kowhatu hei taonga whaainga. I te mea he iti te pirau me te hautau ka puta i te wa e pupuhi ana i nga rawa whakahiato me nga koranu penei i te waikura, ka taea te whakamahi ki te whakarite i nga kiriata angiangi me nga kiriata koranu he rite nga waahanga rite ki era o te mea i whaaia, tae atu ki nga kiriata superconducting me nga titonga uaua.' I tua atu, ka taea hoki te whakamahi i te tikanga sputtering tauhohenga ki te whakaputa i nga kiriata o nga pūhui tino rereke mai i nga mea i whaaia, penei i te waikura, te waikura, me te oxide.
(2) He pai te whakapiri i waenga i te kiriata kua pakaru me te taputapu. I te mea ko te kaha o nga ngota karekau he 1-2 ota teitei ake i tera o nga ngota kua ngotea, ko te hurihanga kaha o nga matūriki hiko-nui ka whakatakotoria ki runga i te tïpako ka nui ake te kaha o te waiariki, e whakarei ake ana i te piri o nga ngota karekau ki te tïpako. Ka werohia tetahi wahanga o nga ngota karekau kaha-nui ki nga nekehanga rereke, ka hanga he paparanga pseudo-diffusion e kiia nei i runga i te tïpako e "miro" ai nga ngota o te ngota me nga ngota o te rauemi tïpako ki a raua ano. I tua atu, i te wa o te pupuhi o nga matūriki pupuhi, ka horoi tonu te tïpako me te whakahohe i roto i te rohe plasma, e tango ana i nga ngota kua pakaru, ka purea me te whakahohe i te mata o te taputapu. Ko te mutunga mai, ka tino whakanuia te piri o te paparanga kiriata kua pakaru ki te tïpako.
(3) He nui te kiato o te paninga sputter, he iti ake nga kohao, me te maamaa ake o te paparanga kiriata na te mea karekau he poke o te kohu, e kore e taea te karo i roto i te tuunga kohu korehau i te wa o te mahi whakakikoruatanga.
(4) He pai te whakahaere me te tukurua o te matotoru kiriata. Mai i te mea ka taea te whakahaere motuhake i te naianei o te rerenga me te waa o te whaainga i te wa o te paninga sputter, ka taea te whakahaere i te matotoru o te kiriata ma te whakahaere i te waa o te whaainga, na reira, ko te mana whakahaere o te matotoru o te kiriata me te reproducibility o te matotoru o te kiriata ma te maha o te pupuhi o te paninga sputter he pai, a ka taea te whakakii pai i te kiriata o te matotoru kua tohua. I tua atu, ka taea e te paninga sputter te whiwhi i te matotoru kiriata rite mo te waahi nui. Heoi, mo te hangarau whakakikorua o te mokowhiti (te nuinga o te kowhaorua), he uaua nga taputapu me te hiahia taputapu pehanga teitei; he iti te tere o te hanga kiriata o te whakapoipoi, ko te 0.1 ~ 5nm / min te tere o te whakaetonga, ko te 0.01 ~ 0.5nm / min te tere o te pupuhi; he tiketike te pikinga o te pāmahana tïpako me te whakaraerae ki te hau poke, me etahi atu. Heoi, na te whanaketanga o te RF sputtering me te magnetron sputtering hangarau, kua nui te ahunga whakamua ki te whakatutuki i te whakahekenga o te putunga tere me te whakaiti i te pāmahana tïpako. I tua atu, i roto i nga tau tata nei, kei te tirotirohia nga tikanga whakakikorua hou - i runga i te papaa magnetron sputtering - ki te whakaiti i te pehanga hau mokemoke tae noa ki te kore o te pehanga karekau te pehanga o te hau whakauru i te wa e pupuhi ana ka kore.
Wā tuku: Noema-08-2022