1.Beneficial mo sputtering me whakakikorua kiriata kiriweti. Ko te huringa tere i roto i te polarity electrode ka taea te whakamahi ki te pupuhi tika i nga whaainga whakamaarama kia whiwhi kiriata whakamaarama. Mena ka whakamahia he puna hiko DC ki te pupuhi me te whakatakoto i te kiriata whakamaarama, ka aukatihia e te kiriata whakamaarama nga katote pai kia kore e uru ki roto i te cathode, ka hanga he paparanga whakaemi katote pai, he pai ki te pakaru me te mura. I muri i te whakatakoto i tetahi kiriata whakamaarama i runga i te anode, ka aukatihia nga irahiko kia kore e uru ki te anode, ka puta te ahua o te ngaronga anode. A, no te whakamahi i te puna mana RF ki te whakakakahu i te kiriata whakamaarama, na te rerekee o te polarity o nga electrodes, ko nga utu pai kua whakaemihia i runga i te cathode i te haurua tuatahi o te huringa ka whakakorehia e nga irahiko i te haurua tuarua o te huringa, a ko nga irahiko kua kohia i runga i te anode ka whakakorehia e nga katote pai. Ko te tikanga rereke i roto i te huringa haurua tuarua ka taea te whakakore i te kohinga o nga utu i runga i te hiko, a ka taea te haere tonu te tukanga tuku.
2.High auau electrodes whakaputa rītaha whaiaro. I roto i te taputapu RF me te hanganga electrode papatahi, ko nga hiko hiko teitei i roto i te ara iahiko e whakamahi ana i nga hononga honohono capacitive e whakaputa ngaohiko rītaha whaiaro. Ko te rereketanga nui i waenga i te tere o te heke irahiko me te tere heke katote i roto i te tukunga ka taea e nga irahiko te eke ki te tere neke ake i te waa kua whakaritea, ko te tere katote puhoi ka whakaemi. Ko te hiko hiko-nui kei te kaha kino mo te nuinga o ia huringa, ka puta he ngaohiko kino i runga i te whenua, koinei te ahuatanga o te whiria i a ia ano o te hiko hiko teitei.
Ko te rītaha whaiaro i hangaia e te RF discharge electrode ka whakatere i te puhipuhi katote o te electrode cathode ki te whakaputa tonu i nga irahiko Tuarua hei pupuri i te mahi tuku, a he rite te mahi a te rītaha whaiaro ki te maturuturunga iho o te cathode i roto i te rerenga hiko DC. Ahakoa te whakamahi i te mana hiko RF, ka taea e te tukunga te mau tonu na te ngaohiko rītaha whaiaro i hangaia e te hiko teitei-auau ka eke ki te 500-1000V.
3. He mea nui te tukunga o te reo irirangi i roto i te rere o te mura o te pehanga o te hau me te rerenga o te arai dielectric i muri mai.
Wā tuku: Hune-21-2023