Ko te whakangao matū matū pararopi (MOCVD), ko te puna o te mea hau he konuara hau konupora, a he rite ki te CVD te tukanga tauhohenga taketake o te waipara.
1.MOCVD raw hau
Ko te puna hau e whakamahia ana mo te MOCVD ko te hau konutara-organic (MOC). He pūhui pūmau te pūhui konutara-organic ka puta ma te whakakotahi i nga matū waro me nga konganuku. Ko nga pūhui pararopi he alkyl, kakara. Ko te Alkyl ko te methyl, ethyl, propyl, me te butyl. Ko te Alkyl ko te methyl, ethyl, propyl, me te butyl. Aromatic tae atu ki te phenyl homologues, trimethyl gallium, [Ga(CH3)3], trimethyl konumohe [Al(CH3)3] mo te tukunga o nga hikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohiko izy mo te whakangao o te hikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohiko.3)3 a ka taea te haukini i roto i te angiangi silicon, te sapphire ranei i runga i te tipu epitaxial o nga rama LED i roto i te paparanga rama InGaN. Ko nga rama rama he nui ake i te 90%, neke atu i te 60% nga rama rama rama hiko. Ko nga rama LED he 90% te pai ake o te kaha atu i nga rama kaakaro tungsten me te 60% te pai ake o te kaha atu i nga rama rama. I enei wa, ko nga momo rama tiriti katoa, rama rama me nga rama motuka e whakamahi ana i nga kiriata rama-a-rama i hangaia e MOCVD.
2. Te pāmahana waipara
He iti te pāmahana whakangao o nga pūhui whakarewa pararopi, he iti ake te pāmahana waipara i to te HCVD. Ka taea te whakaiti i te pāmahana waipara o TiN i tukuna e MOCVD ki te 500 tohu.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Oketopa-20-2023