Ko te pewa waea wera i whakarei ake i te hangarau whakahekenga matū matū matū ka whakamahia te pu waea wera ki te whakaputa i te plasma arc, whakapotohia ko te hangarau waea wera arc PECVD. He rite tenei hangarau ki te hangarau whakakikorua katote arc pu wera, engari ko te rereketanga ko te kiriata totoka i whiwhihia e te waea wera arc pu katote paninga ka whakamahi i te rere irahiko marama arc i tukuna e te pu waea wera wera ki te wera me te whakaeto i te whakarewa i roto i te ipu, i te wa e whangaia ana te waea wera arc marama PECVD ki nga hau tauhohenga, penei i te CH4 me te H2, he taimana e whakamahia ana. Ma te ti'aturi i runga i te katote teitei o te rere arc e tukuna ana e te pu waea wera, ka hikaka nga katote hau reactive ki te whiwhi i nga momo matūriki hohe, tae atu ki nga katote hau, nga katote ngota, nga roopu hohe, me era atu.
I roto i te taputapu PECVD arc waea wera, e rua nga coils electromagnetic kei te whakauru tonu ki waho o te ruuma paninga, ka huri te rere irahiko teitei kia huri i te wa o te nekehanga ki te anode, ka piki ake te tupono o te tukinga me te katote i waenga i te rere irahiko me te hau tauhohenga. Ka taea hoki e te coil electromagnetic te huri ki roto i te pou pewa ki te whakanui ake i te kiato plasma o te ruuma tuunga katoa. I roto i te arc plasma, he tiketike te kiato o enei matūriki hohe, he maamaa ake te whakatakoto i nga kiriata taimana me etahi atu paparanga kiriata ki runga i te taputapu mahi.
——I tukuna tenei tuhinga e Guangdong Zhenhua Technology, akaihanga o mihini whakakikorua whatu.
Wā tuku: Mei-05-2023