(1) Puta hau. Ko te hau pupuhi me whai i nga ahuatanga o te nui o te tukunga o te pupuhi, te ngoikore ki nga mea e whaaia ana, te iti, te ngawari ki te whiwhi i te parakore teitei me etahi atu ahuatanga. I te nuinga o te korero, ko te argon te hau pupuhi pai ake.
(2) Sputtering ngaohiko me te ngaohiko tïpako. Ko enei tawhā e rua he paanga nui ki nga ahuatanga o te kiriata, ko te ngaohiko pupuhi e kore e pa ki te reiti waipara, engari ka tino pa ki te hanganga o te kiriata kua whakatakotoria. Ka pa te kaha o te taapapa ki te rere irahiko, katote ranei o te werohanga tangata. Mēnā ka tū te tïpako, ka pupuhihia e nga irahiko rite; ki te iri te tïpako, kei roto i te rohe tuku mura ki te whiwhi i te pea paku kino e pa ana ki te whenua o te kaha whakatārewatanga V1, me te kaha o te plasma huri noa i te tïpako V2 kia teitei ake i te kaha o te tïpako, ka puta he tohu o te pupuhi o te irahiko me nga katote pai, ka puta he huringa i te matotoru o te kiriata, te hanganga, me etahi atu ahuatanga e pa ana ki te ahua o te ngaohiko me etahi atu ahuatanga: te whakaae hiko o te irahiko katote ranei, e kore e taea anake te pure i te tïpako me te whakarei ake i te adhesion o te kiriata, engari ano te huri i te hanganga o te kiriata. I roto i te paninga reo irirangi sputtering, te takahanga o te membrane conductor me te rītaha DC: te takahanga o te membrane dielectric me te rītaha oro.
(3) Te mahana o te papanga. He nui ake te paanga o te paanga o te papanga ki te taumahatanga o roto o te kiriata, na te mea ka pa te paanga ki te mahi o nga ngota kua whakatakotoria ki runga i te tïpako, na reira ka whakatau i te hanganga o te kiriata, te hanganga, te rahi o te witi toharite, te whakatakotoranga karaihe me te kore e oti.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Hanuere-05-2024