1.Beneficial ho an'ny sputtering sy nopetahana insulation sarimihetsika. Ny fiovana haingana amin'ny polarity electrode dia azo ampiasaina mivantana amin'ny sputter insulating kendrena hahazoana sarimihetsika insulating. Raha misy loharanon-kery DC no ampiasaina hanesorana sy hametraka sarimihetsika insulation, ny sarimihetsika insulation dia hanakana ny ion tsara tsy hiditra ao amin'ny cathode, ka mamorona sosona fanangonana ion tsara, izay mora simba sy mirehitra. Taorian'ny fametrahana sarimihetsika insulation eo amin'ny anode, dia voasakana ny elektronika tsy hiditra ao amin'ny anode, ka miteraka ny fanjavonan'ny anode. Rehefa mampiasa loharanon-kery RF mba hametahana sarimihetsika insulation, noho ny fifandimbiasan'ny electrodes, ny fiampangana tsara voaangona ao amin'ny cathode amin'ny tapany voalohany amin'ny tsingerina dia ho tsy misy electron amin'ny tapany faharoa amin'ny tsingerina, ary ny elektrôna voaangona amin'ny anode dia ho voaro amin'ny ion tsara. Ny dingana mifanohitra amin'ny tsingerin'ny tapany faharoa dia afaka manafoana ny fiampangana ny fiampangana amin'ny electrode, ary ny fizotran'ny famoahana dia afaka mandeha ara-dalàna.
2. High frequency electrodes miteraka tena fitongilanana. Ao amin'ny fitaovana RF miaraka amin'ny firafitry ny electrode fisaka, ny electrodes avo matetika ao amin'ny faritra mampiasa capacitive coupling mifanentana dia miteraka fitongilanan-tena. Ny fahasamihafana goavana eo amin'ny hafainganan'ny fifindran'ny elektrôna sy ny hafainganam-pandehan'ny ion amin'ny fivoahana dia ahafahan'ny elektrôna hahatratra ny hafainganam-pandehan'ny hetsika lehibe kokoa amin'ny fotoana iray, fa ny hafainganam-pandehan'ny ion miadana dia miteraka fanangonam-bokatra. Ny elektrôda avo lenta dia eo amin'ny mety ho ratsy ho an'ny ankamaroan'ny tsingerina tsirairay, ka miteraka tosidra ratsy eo amin'ny terrain, izay trangan'ny fitongilanan-tena amin'ny electrode avo lenta.
Ny fitongilanan-tena ateraky ny electrode RF discharge dia manafaingana ny fanapoahana baomba ny electrode cathode mba hamoahana tsy tapaka ny elektronika faharoa mba hihazonana ny fizotran'ny famoahana, ary ny fitongilanan-tena dia mitana anjara toerana mitovy amin'ny fihenan'ny cathode amin'ny fivoahan'ny hazavana DC. Na dia mampiasa famatsiana herinaratra RF aza, ny fivoahana dia mety ho azo antoka noho ny volavolan-tena mitongilana ateraky ny electrode avo lenta mahatratra 500-1000V.
3. Mitana anjara toerana lehibe eo amin'ny fivoahan'ny famirapiratan'ny atmosfera sy ny fivoahan'ny dielectric sakana nampidirina taty aoriana.
Fotoana fandefasana: Jun-21-2023