Metal organika simika etona deposition (MOCVD), ny loharanon'ny entona akora dia metaly organika fitambarana entona, ary ny fototra fanehoan-kevitra dingana deposition dia mitovy amin'ny CVD.
1.MOCVD manta gasy
Ny loharano entona ampiasaina amin'ny MOCVD dia entona metal-organika (MOC). Ny fitambarana metaly-organika dia fitambarana tsy miovaova vokarina amin'ny fampifangaroana akora organika amin'ny metaly. Ny fitambarana organika dia manana alkyl, aromatika. Ny alkyl dia misy methyl, ethyl, propyl, ary butyl. Ny alkyl dia misy methyl, ethyl, propyl, ary butyl. Aromatic anisan'izany ny phenyl homologues, trimethyl gallium, [Ga(CH3)3], aluminium trimethyl [Al(CH3)3] ho an'ny fametrahana ny microelectronics, optoelectronics, semiconductor amin'ny telo, dimy fitambarana ao amin'ny sarimihetsika sosona, toy ny Ga(CH).3)3 ary ny amoniaka dia mety ho ao anaty wafer silisiôma na safira amin'ny fitomboan'ny epitaxial ny jiro LED ao amin'ny sosona luminescent InGaN. Ny jiro LED dia mihoatra noho ny tungstène incandescent angovo-mitahiry 90%, mihoatra ny 60% angovo-mamonjy fluorescent jiro. Ny jiro LED dia 90% mahery kokoa noho ny jiro tungstène ary 60% mahery kokoa noho ny jiro fluorescent. Amin'izao fotoana izao, ny karazana jiro rehetra eny an-dalambe, jiro jiro ary jiro fiara dia mampiasa sarimihetsika mamoaka hazavana LED novokarin'ny MOCVD.
2. maripana deposition
Ny hafanan'ny fanimbana ny metaly organika dia ambany, ary ny hafanan'ny déposition dia ambany noho ny an'ny HCVD. Ny mari-pana deposition an'ny TiN napetraky MOCVD dia azo ahena ho 500 degre eo ho eo.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Oct-20-2023