(1) Gasy mitsambikina. Ny entona sputtering dia tokony hanana ny toetra mampiavaka ny vokatra sputtering avo, inert amin'ny fitaovana kendrena, mora, mora ny mahazo ny fahadiovana ambony sy ny toetra hafa. Amin'ny ankapobeny, argon no entona mipoitra tsara kokoa.
(2) Sputtering malefaka sy ny substrate malefaka. Ireo mari-pamantarana roa ireo dia misy fiantraikany lehibe amin'ny toetran'ny sarimihetsika, ny fanerena malefaka dia tsy misy fiantraikany amin'ny tahan'ny deposition ihany, fa misy fiantraikany lehibe amin'ny firafitry ny sarimihetsika napetraka. Ny mety ho substrate dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fikorianan'ny elektrôna na ion amin'ny tsindrona olombelona. Raha miorina amin'ny tany ny substrate, dia baomba amin'ny elektrôna mitovy aminy; raha mihantona ny substrate, dia ao amin'ny faritry ny famirapiratan'ny hazavana mba hahazoana ny mety ho voka-dratsiny kely mifandraika amin'ny tany amin'ny mety ho fampiatoana V1, ary ny mety ho an'ny plasma manodidina ny substrate V2 ho ambony kokoa noho ny mety ho substrate, izay hiteraka baomba sasany amin'ny elektronika sy ny ion tsara, ka miteraka fiovana eo amin'ny hatevin'ny sarimihetsika, composition, ary ny tanjona hafa: Ny fanekena elektrika amin'ny elektronika na ion, dia tsy vitan'ny hoe manadio ny substrate ary manatsara ny firaiketan'ny sarimihetsika, fa koa manova ny firafitry ny sarimihetsika. Ao amin'ny onjam-peo matetika sputtering coating, ny fanomanana ny conducteur membrane miampy DC fitongilanana: ny fanomanana ny dielectric fonontselan'ny miampy Tuning bias.
(3) Ny mari-pana amin'ny substrate. Ny mari-pana amin'ny substrate dia misy fiantraikany lehibe kokoa amin'ny adin-tsaina anatiny ao amin'ny sarimihetsika, izay noho ny mari-pana dia misy fiantraikany mivantana amin'ny asan'ny atôma napetraka eo amin'ny substrate, ka mamaritra ny firafitry ny sarimihetsika, ny rafitra, ny haben'ny voa, ny orientation kristaly ary ny tsy fahatomombanana.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Jan-05-2024