(1) Izsmidzināšanas gāze. Izsmidzināšanas gāzei jābūt ar augstu izsmidzināšanas ražu, inerci pret mērķa materiālu, lētu cenu, viegli iegūstamu augstu tīrību un citām īpašībām. Kopumā argons ir vispiemērotākā izsmidzināšanas gāze.
(2) Izsmidzināšanas spriegums un substrāta spriegums. Šiem diviem parametriem ir būtiska ietekme uz plēves īpašībām, izsmidzināšanas spriegums ne tikai ietekmē nogulsnēšanās ātrumu, bet arī nopietni ietekmē nogulsnētās plēves struktūru. Substrāta potenciāls tieši ietekmē elektronu vai jonu plūsmu cilvēka injekcijas laikā. Ja substrāts ir iezemēts, to bombardē līdzvērtīgi elektroni; ja substrāts ir suspendēts, tas atrodas kvēlojošas izlādes zonā, iegūstot nedaudz negatīvu potenciālu attiecībā pret suspensijas potenciālu V1, un plazmas potenciāls ap substrātu V2 ir augstāks par substrāta potenciālu, kas radīs zināmu elektronu un pozitīvo jonu bombardēšanas pakāpi, kā rezultātā mainīsies plēves biezums, sastāvs un citas īpašības: ja substrātam mērķtiecīgi tiek pielietots nobīdes spriegums, lai tas atbilstu elektronu vai jonu elektriskās pieņemšanas polaritātei, tas ne tikai var attīrīt substrātu un uzlabot plēves saķeri, bet arī mainīt plēves struktūru. Radiofrekvences izsmidzināšanas pārklājumā vadītāja membrānas sagatavošana plus līdzstrāvas nobīde: dielektriskās membrānas sagatavošana plus regulēšanas nobīde.
(3) Pamatnes temperatūra. Pamatnes temperatūrai ir lielāka ietekme uz plēves iekšējo spriegumu, jo temperatūra tieši ietekmē uz pamatnes nogulsnēto atomu aktivitāti, tādējādi nosakot plēves sastāvu, struktūru, vidējo graudu izmēru, kristālu orientāciju un nepilnību.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 5. janvāris