(1) Purškimo dujos. Purškimo dujos turi pasižymėti didele purškimo išeiga, inertiškumu tikslinei medžiagai, pigiomis, lengvai išgaunamomis didelio grynumo ir kitomis savybėmis. Apskritai argonas yra idealiausias purškimo dujos.
(2) Purškimo įtampa ir substrato įtampa. Šie du parametrai daro didelę įtaką plėvelės savybėms, purškimo įtampa ne tik veikia nusodinimo greitį, bet ir daro didelę įtaką nusodintos plėvelės struktūrai. Pagrindo potencialas tiesiogiai veikia įpurškiamo elektrono arba jono srautą. Jei substratas yra įžemintas, jį bombarduoja ekvivalentiški elektronai; jei substratas yra pakabinamas, jis yra švytėjimo išlydžio srityje, kad susidarytų šiek tiek neigiamas potencialas, palyginti su įžemintu suspensijos potencialu V1, o plazmos potencialas aplink substratą V2 yra didesnis nei substrato potencialas, dėl ko tam tikru mastu bombarduojami elektronai ir teigiami jonai, dėl ko pasikeičia plėvelės storis, sudėtis ir kitos savybės: jei substratui tikslingai taikoma poslinkio įtampa, kad ji atitiktų elektronų arba jonų elektrinio priėmimo poliškumą, galima ne tik išvalyti substratą ir pagerinti plėvelės sukibimą, bet ir pakeisti plėvelės struktūrą. Radiodažnio purškimo dangoje laidininko membranos paruošimas su nuolatinės srovės poslinkiu: dielektrinės membranos paruošimas su derinimo poslinkiu.
(3) Pagrindo temperatūra. Pagrindo temperatūra turi didesnę įtaką plėvelės vidiniam įtempimui, nes temperatūra tiesiogiai veikia ant padėklo nusodintų atomų aktyvumą, taip nulemdama plėvelės sudėtį, struktūrą, vidutinį grūdelių dydį, kristalų orientaciją ir nepilnumą.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. sausio 5 d.