1.Beneficial ສໍາລັບ sputtering ແລະແຜ່ນ insulation ຮູບເງົາ. ການປ່ຽນແປງຢ່າງໄວວາຂອງຂົ້ວ electrode ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອໂດຍກົງ sputter insulating ເປົ້າຫມາຍທີ່ຈະໄດ້ຮັບຮູບເງົາ insulating. ຖ້າແຫຼ່ງພະລັງງານ DC ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອ sputter ແລະຝາກຮູບເງົາ insulation, ຮູບເງົາ insulation ຈະສະກັດ ions ບວກຈາກການເຂົ້າໄປໃນ cathode, ປະກອບເປັນຊັ້ນສະສົມຂອງ ion ບວກ, ເຊິ່ງມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການແຕກຫັກແລະການຕິດໄຟ. ຫຼັງຈາກຝາກຮູບເງົາ insulating ສຸດ anode ໄດ້, ເອເລັກໂຕຣນິກໄດ້ຖືກສະກັດຈາກການເຂົ້າໄປໃນ anode, ສົ່ງຜົນໃຫ້ປະກົດການຂອງ anode ຫາຍໄປ. ເມື່ອນໍາໃຊ້ແຫຼ່ງພະລັງງານ RF ເພື່ອເຄືອບຮູບເງົາ insulation, ເນື່ອງຈາກການສະຫຼັບຂອງຂົ້ວຂອງ electrodes, ຄ່າບວກທີ່ສະສົມຢູ່ໃນ cathode ໃນເຄິ່ງທໍາອິດຂອງວົງຈອນຈະໄດ້ຮັບການ neutralized ໂດຍເອເລັກໂຕຣນິກໃນເຄິ່ງທີ່ສອງຂອງວົງຈອນ, ແລະເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ສະສົມຢູ່ໃນ anode ຈະໄດ້ຮັບການ neutralized ໂດຍ ions ບວກ. ຂະບວນການກົງກັນຂ້າມໃນຮອບວຽນເຄິ່ງທີ່ສອງສາມາດລົບລ້າງການສະສົມຂອງຄ່າບໍລິການໃນ electrode, ແລະຂະບວນການໄຫຼສາມາດດໍາເນີນການຕາມປົກກະຕິ.
2.High frequency electrodes ສ້າງອະຄະຕິຕົນເອງ. ໃນອຸປະກອນ RF ທີ່ມີໂຄງສ້າງຂອງ electrode ຮາບພຽງ, electrodes ຄວາມຖີ່ສູງໃນວົງຈອນການນໍາໃຊ້ການຈັບຄູ່ coupling capacitive ສ້າງແຮງດັນຄວາມລໍາອຽງຕົນເອງ. ຄວາມແຕກຕ່າງທີ່ໃຫຍ່ຫຼວງລະຫວ່າງຄວາມໄວການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງອີເລັກໂທຣນິກແລະຄວາມໄວການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງ ion ໃນການໄຫຼເຮັດໃຫ້ເອເລັກໂຕຣນິກສາມາດບັນລຸຄວາມໄວການເຄື່ອນໄຫວຫຼາຍຂື້ນໃນໄລຍະເວລາໃດຫນຶ່ງ, ໃນຂະນະທີ່ຄວາມໄວ ion ຊ້າລົງເຮັດໃຫ້ເກີດການສະສົມ. electrode ຄວາມຖີ່ສູງແມ່ນຢູ່ໃນທ່າແຮງທາງລົບສໍາລັບແຕ່ລະວົງຈອນ, ເຮັດໃຫ້ເກີດແຮງດັນທາງລົບໃນພື້ນທີ່, ເຊິ່ງເປັນປະກົດການຂອງຄວາມລໍາອຽງຂອງຕົນເອງຂອງ electrode ຄວາມຖີ່ສູງ.
ຄວາມລໍາອຽງຂອງຕົນເອງທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍ electrode discharge RF ເລັ່ງການລະເບີດຂອງ ion ຂອງ electrode cathode ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ emit ອິເລັກຕອນທີສອງເພື່ອຮັກສາຂະບວນການໄຫຼ, ແລະຄວາມລໍາອຽງຕົນເອງມີບົດບາດຄ້າຍຄືກັນກັບການຫຼຸດລົງ cathode ໃນ DC glow discharge. ເຖິງແມ່ນວ່າການນໍາໃຊ້ການສະຫນອງພະລັງງານ RF, ການໄຫຼສາມາດມີຄວາມຫມັ້ນຄົງເນື່ອງຈາກແຮງດັນຂອງຄວາມລໍາອຽງຂອງຕົນເອງທີ່ຜະລິດໂດຍ electrode ຄວາມຖີ່ສູງເຖິງ 500-1000V.
3. ການລົງຂາວຄວາມຖີ່ວິທະຍຸມີບົດບາດສຳຄັນໃນການລະບາຍຄວາມດັນຂອງບັນຍາກາດ ແລະ ການລະບາຍຄວາມຖີ່ຂອງກະແສໄຟຟ້າທີ່ນຳມາສະເໜີໃນພາຍຫຼັງ.
ເວລາປະກາດ: 21-06-2023