Wëllkomm bei Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
eenzelt_banner

Notzung vun HF-Entladung

Artikelquell: Zhenhua Vakuum
Liesen: 10
Verëffentlecht: 23-06-21

1. Nëtzlech fir d'Sputteren an d'Beschichtung vun Isolatiounsfolien. Déi séier Ännerung vun der Elektrodenpolaritéit kann benotzt ginn, fir direkt Isolatiounsziler ze sputteren, fir Isolatiounsfolien ze kréien. Wann eng Gläichstroumquell benotzt gëtt fir Isolatiounsfolien ze sputteren an ofzesetzen, blockéiert d'Isolatiounsfolie positiv Ionen dovun, an doduerch eng positiv Ionenakkumulatiounsschicht ze bilden, déi ufälleg fir Zesummebroch an Zündung ass. Nodeems en Isolatiounsfolie op der Anode ofgesat gouf, ginn d'Elektronen dovun ofgehalen, an d'Anode ze kommen, wat zu dem Phänomen vum Verschwannen vun der Anode féiert. Wann eng HF-Stroumquell benotzt gëtt fir d'Isolatiounsfolien ze beschichten, ginn, wéinst der ofwiesselnder Polaritéit vun den Elektroden, déi positiv Ladungen, déi an der éischter Hallschent vum Zyklus op der Kathod gesammelt goufen, duerch Elektronen an der zweeter Hallschent vum Zyklus neutraliséiert, an d'Elektronen, déi op der Anode gesammelt goufen, ginn duerch positiv Ionen neutraliséiert. De Géigendeelprozess an der zweeter Hallschent vum Zyklus kann d'Akkumulatioun vu Ladungen op der Elektrod eliminéieren, an den Entladungsprozess kann normal oflafen.

www.zhenhuavac.com

2. Héichfrequenzelektroden generéieren eng Selbstspannung. Am HF-Apparat mat enger flaacher Elektrodenstruktur generéieren d'Héichfrequenzelektroden am Circuit mat Hëllef vun der kapazitiver Kopplungsanpassung eng Selbstspannung. Den enorme Ënnerscheed tëscht der Elektronenmigratiounsgeschwindegkeet an der Ionenmigratiounsgeschwindegkeet bei der Entladung erméiglecht et den Elektronen, eng méi héich Bewegungsgeschwindegkeet zu engem bestëmmten Zäitpunkt z'erreechen, während déi méi lues Ionengeschwindegkeet eng Akkumulatioun verursaacht. D'Héichfrequenzelektrod ass fir de gréissten Deel vun all Zyklus op engem negativen Potenzial, wat zu enger negativer Spannung um Terrain féiert, wat de Phänomen vun der Selbstspannung vun der Héichfrequenzelektrod ass.

D'Selbstverspannung, déi vun der HF-Entladungselektrode generéiert gëtt, beschleunegt d'Ionenbombardement vun der Kathodelektrode, fir kontinuéierlech Sekundärelektronen ze emittéieren, fir den Entladungsprozess z'erhalen, an d'Selbstverspannung spillt eng ähnlech Roll wéi den Kathodenoffall bei der Gläichstroum-Glühentladung. Och wann eng HF-Stroumversuergung benotzt gëtt, kann d'Entladung stabil sinn wéinst der Selbstverspannungsspannung, déi vun der Héichfrequenzelektrode generéiert gëtt a 500-1000V erreecht.

3. Radiofrequenzentladung spillt eng wichteg Roll bei der Glühentladung ënner Atmosphärendrock an der Glühentladung duerch dielektresch Barrièren, déi spéider agefouert goufen.


Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 21. Juni 2023