D'Technologie fir d'chemesch Dampfoflagerung mat engem verbesserte Plasma vum Heissdrot benotzt d'Heissdrot-Bougenpistoul fir e Bouplasma ze emittéieren, ofgekierzt als d'Heissdrot-Bougen-PECVD-Technologie. Dës Technologie ass ähnlech wéi d'Ionenbeschichtungstechnologie mat der Heissdrot-Bougenpistoul, awer den Ënnerscheed ass, datt de feste Film, deen duerch d'Ionenbeschichtung mat der Heissdrot-Bougenpistoul kritt gëtt, den Elektronenstroum vum Bougeliicht benotzt, deen vun der Heissdrot-Bougenpistoul emittéiert gëtt, fir de Metall am Tiegel ze hëtzen an ze verdampfen, während d'Heissdrot-Bougeliicht-PECVD mat Reaktiounsgase wéi CH4 an H2 gefiddert gëtt, déi fir d'Oflagerung vun Diamantfilmer benotzt ginn. Andeems se sech op den héichdichtege Bouenentladungsstroum vun der Heissdrot-Bougenpistoul verloossen, ginn déi reaktiv Gasionen ugereegt, fir verschidden aktiv Partikelen ze kréien, dorënner Gasionen, Atomionen, aktiv Gruppen, asw.
Am Heissdrot-Bougen-PECVD-Apparat sinn nach ëmmer zwou elektromagnetesch Spulen ausserhalb vum Beschichtungsraum installéiert, wouduerch den Elektronestroum mat héijer Dicht sech während der Bewegung Richtung Anode rotéiert, wat d'Wahrscheinlechkeet vun enger Kollisioun an Ioniséierung tëscht dem Elektronestroum an dem Reaktiounsgas erhéicht. D'elektromagnetesch Spul kann och an eng Boukolonn konvergéieren, fir d'Plasmadicht vun der ganzer Oflagerungskammer ze erhéijen. Am Bouplasma ass d'Dicht vun dësen aktiven Partikelen héich, wat et méi einfach mécht, Diamantfilmer an aner Filmschichten um Werkstéck ofzesetzen.
——Dësen Artikel gouf vu Guangdong Zhenhua Technology publizéiert, engerHiersteller vun optesche Beschichtungsmaschinnen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 05. Mee 2023