1.Beneficial sputtering жана жабуу жылуулоо тасмасы. Электроддун полярдуулугунун тез өзгөрүшү изоляциялык пленкаларды алуу үчүн изоляциялык буталарды түздөн-түз чачыратуу үчүн колдонулушу мүмкүн. Эгерде туруктуу токтун булагы изоляциялык пленканы чачыратуу жана жайгаштыруу үчүн колдонулса, изоляциялык пленка оң иондордун катодго киришине тоскоол болуп, оң ион топтоо катмарын түзөт, ал бузулууга жана тутанууга жакын болот. Анодго изоляциялык пленканы салгандан кийин анодго электрондор кирбей калат, аноддун жок болуу кубулушу пайда болот. Изоляциялык пленканы каптоо үчүн RF кубат булагы колдонулганда, электроддордун алмашып туруучу полярдуулугунан улам циклдин биринчи жарымында катоддо топтолгон оң заряддар циклдин экинчи жарымында электрондор тарабынан нейтралдаштырылат, ал эми аноддо чогулган электрондор оң иондор менен нейтралдаштырылган. Экинчи жарым циклдеги карама-каршы процесс электроддо заряддардын топтолушун жок кыла алат жана разряд процесси кадимкидей улана алат.
2.High жыштык электроддор өзүн-өзү кыйшаюусу жаратат. Жалпак электрод түзүмү бар RF түзмөгүндө, контурдагы жогорку жыштыктагы электроддор сыйымдуулук менен бириктирүүнүн дал келүүсүн колдонуп, өз алдынча чыңалууну жаратат. Разряддагы электрондордун миграциясынын ылдамдыгы менен иондордун миграциясынын ылдамдыгы ортосундагы чоң айырма электрондорго белгилүү бир убакытта көбүрөөк кыймыл ылдамдыгына жетишүүгө мүмкүндүк берет, ал эми иондордун жайыраак ылдамдыгы топтолууну пайда кылат. Жогорку жыштыктагы электрод ар бир циклдин көпчүлүк бөлүгү үчүн терс потенциалда болот, натыйжада рельефте терс чыңалуу пайда болот, бул жогорку жыштыктагы электроддун өзүн-өзү кыйшаюусунун көрүнүшү.
RF разряддык электрод тарабынан түзүлгөн өзүн-өзү кыйшаюу катод электродунун иондук бомбалоосун тездетет жана разряд процессин колдоо үчүн экинчилик электрондорду үзгүлтүксүз бөлүп чыгарат, ал эми өзүн-өзү тууралоо туруктуу токтун жарыгы разрядындагы катоддун төмөндөшүнө окшош ролду ойнойт. RF электр булагы колдонулса да, разряд 500-1000V жеткен жогорку жыштыктагы электрод тарабынан түзүлгөн өз алдынча чыңалуудан улам туруктуу болушу мүмкүн.
3. Радио жыштык разряды кийинчерээк киргизилген атмосфералык басымдын жаркыраган разрядында жана диэлектрдик барьердик разрядда маанилүү роль ойнойт.
Посттун убактысы: 21-июнь-2023