Металл органикалык химиялык буу катмары (MOCVD), газ түрүндөгү материалдын булагы металл органикалык кошулма газ болуп саналат, жана депо негизги реакция жараяны CVD окшош.
1.MOCVD чийки газ
MOCVD үчүн колдонулган газ булагы металл-органикалык кошулма (MOC) газы болуп саналат. Металл-органикалык бирикмелер – органикалык заттарды металлдар менен бириктирүүдөн алынган туруктуу бирикмелер. Органикалык бирикмелерде алкил, ароматтык бар. Алкилге метил, этил, пропил жана бутил кирет. Алкилге метил, этил, пропил жана бутил кирет. Ароматтык, анын ичинде фенил гомологдору, триметил галлий, [Ga(CH3)3], триметил алюминий [Al(CH3)3] микроэлектрониканы, оптоэлектрониканы, жарым өткөргүчтөрдү пленкалуу катмардагы үч, беш бирикмеге, мисалы Ga(CH) жайгаштыруу үчүн3)3 жана аммиак InGaN люминесценттик катмарында LED лампаларынын эпитаксиалдык өсүшүндө кремний пластинасында же сапфирде болушу мүмкүн. LED лампалары вольфрамдын ысытуу лампаларына караганда 90% энергияны үнөмдөөчү, 60% дан ашык энергияны үнөмдөөчү флуоресценттик лампалар. LED лампалары вольфрам ысытуу лампаларына караганда 90% жана флуоресценттик лампаларга караганда 60% энергияны үнөмдүү. Бүгүнкү күндө көчө лампаларынын бардык түрлөрү, жарык берүүчү лампалар жана автомобиль лампалары негизинен MOCVD тарабынан чыгарылган LED жарык берүүчү пленкаларды колдонушат.
2. Чогуу температурасы
Органикалык металл кошулмаларынын ажыроо температурасы төмөн, ал эми чөкүү температурасы HCVDге караганда төмөн. MOCVD тарабынан салынган TiN катмарынын температурасы 500 градуска чейин төмөндөтүлүшү мүмкүн.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Пост убактысы: 20-окт.2023