Ысык зым жаасы жакшыртылган плазмадагы химиялык бууларды жайгаштыруу технологиясы ысык зым жаасы PECVD технологиясы катары кыскартылган дога плазмасын чыгаруу үчүн ысык зым жаасы мылтыгын колдонот. Бул технология ысык зым жаа мылтыгынын ион каптоо технологиясына окшош, бирок айырмасы, ысык зым жаа мылтыгынын ион каптоосу менен алынган катуу пленка тигелдеги металлды ысытуу жана буулантуу үчүн ысык зым догасы мылтыгы чыгарган жаа жарыктын электрон агымын колдонот, ал эми ысык зым жаасы жарыгы PECVD реакция газдары менен азыктанат, мисалы, H2 депонирлөө үчүн колдонулат. Ыстык зым жаасы тапанчасынан чыккан жогорку тыгыздыктагы жаа разрядына таянуу менен реактивдүү газ иондору ар кандай активдүү бөлүкчөлөрдү, анын ичинде газ иондорун, атомдук иондорду, активдүү топторду ж.б.
ысык зым жаа PECVD аппаратында, эки электромагниттик катушкалар дагы эле каптоо бөлмөнүн сыртында орнотулган, анод көздөй кыймылы учурунда жогорку тыгыздыктагы электрон агымы айланып, электрон агымы жана реакция газ ортосундагы кагылышуу жана иондошуу ыктымалдыгын жогорулатат. Электромагниттик катушка ошондой эле бүт жайгаштыруу камерасынын плазма тыгыздыгын жогорулатуу үчүн жаа мамычасына бириге алат. Дога плазмасында бул активдүү бөлүкчөлөрдүн тыгыздыгы жогору болгондуктан, алмаз пленкаларын жана башка пленка катмарларын даярдалган материалга түшүрүүнү жеңилдетет.
——Бул макаланы Гуандун Чжэнхуа Технологиясы чыгарган, аоптикалык каптоочу машиналарды чыгаруучу.
Билдирүү убактысы: 05-2023-ж