1. Ji bo sputterkirin û pêçandina fîlma îzolekirinê sûdmend e. Guherîna bilez a polarîteya elektrodê dikare ji bo sputterkirina rasterast a hedefên îzolekirinê were bikar anîn da ku fîlmên îzolekirinê werin bidestxistin. Ger çavkaniyek hêza DC ji bo sputterkirin û danîna fîlma îzolekirinê were bikar anîn, fîlma îzolekirinê dê rê li ber ketina iyonên erênî bigire nav katodê, çînek kombûna iyonên erênî çêdike, ku meyla wê heye ku têk biçe û şewatê bike. Piştî danîna fîlmek îzolekirinê li ser anodê, elektron ji ketina nav anodê têne asteng kirin, ku di encamê de diyardeya windabûna anodê çêdibe. Dema ku çavkaniyek hêza RF ji bo pêçandina fîlma îzolekirinê tê bikar anîn, ji ber polarîteya alternatîf a elektrodan, barên erênî yên ku di nîvê yekem ê çerxê de li ser katodê kom bûne dê di nîvê duyemîn ê çerxê de ji hêla elektronan ve werin bêbandor kirin, û elektronên ku li ser anodê kom bûne dê ji hêla iyonên erênî ve werin bêbandor kirin. Pêvajoya berevajî di nîvê duyemîn ê çerxê de dikare kombûna baran li ser elektrodê ji holê rake, û pêvajoya derxistinê dikare bi awayekî normal bidome.
2. Elektrodên frekanseke bilind xwe-alîgiriyê çêdikin. Di cîhaza RF de bi avahiyeke elektrodê ya dûz, elektrodên frekanseke bilind di devreyê de bi karanîna hevahengiya kapasîteyî voltaja xwe-alîgiriyê çêdikin. Cûdahiya mezin di navbera leza koçberiya elektronan û leza koçberiya iyonan di dakêşanê de dihêle ku elektron di demek diyarkirî de leza tevgerê ya mezintir bi dest bixin, lê leza iyonan a hêdîtir dibe sedema kombûnê. Elektroda frekanseke bilind di piraniya her çerxê de di potansiyeleke neyînî de ye, ku di encamê de li ser erdê voltaja neyînî çêdibe, ku ev jî diyardeya xwe-alîgiriya elektroda frekanseke bilind e.
Xwe-alîgiriya ku ji hêla elektroda dakêşana RF ve tê çêkirin, bombebarana îyonê ya elektroda katodê lez dike da ku bi berdewamî elektronên duyemîn derxe da ku pêvajoya dakêşanê bidomîne, û xwe-alîgiriya rolek dişibihe daketina katodê di dakêşana şewqa DC de dilîze. Her çend dabînkirina hêzê ya RF-ê tê bikar anîn jî, dakêşan dikare ji ber voltaja xwe-alîgiriya ku ji hêla elektroda frekans-bilind ve tê çêkirin ku digihîje 500-1000V, stabîl be.
3. Derxistina frekansên radyoyê di derxistina şewqa zexta atmosferîk û derxistina şewqa astengiya dîelektrîkê de ku paşê hatiye destnîşan kirin roleke girîng dilîze.
Dema weşandinê: 21ê Hezîrana 2023an