Depokirina buxara kîmyayî ya organîk a metalî (MOCVD), çavkaniya madeya gazî tevlîheviya organîk a metalî ya gaz e, û pêvajoya reaksiyona bingehîn a depokirinê dişibihe CVD-ê.
1.MOCVD gaza xav
Çavkaniya gazê ya ku ji bo MOCVD tê bikar anîn gaza pêkhateyên metal-organîk (MOC) ye. Pêkhateyên metal-organîk pêkhateyên stabîl in ku bi tevlihevkirina madeyên organîk bi metalan re têne hilberandin. Pêkhateyên organîk alkîl û aromatîk hene. Alkîl metîl, etîl, propîl û bûtîl dihewîne. Alkîl metîl, etîl, propîl û bûtîl dihewîne. Aromatîk dihewîne homologên fenîl, trîmetîl galyûm, [Ga(CH43)3], trîmetîl alumînyûm [Al(CH3)3] ji bo danîna mîkroelektronîk, optoelektronîk, nîvconductoran di sê, pênc pêkhateyên di qata fîlmê de, wek Ga(CH43)3 û amonyak dikare di wafera silîkonê an jî yaqûtê de li ser mezinbûna epitaksiyal a çirayên LED di çîna ronîker a InGaN de be. Çirayên LED ji çirayên inkandesan ên tungstenê %90 teserûfa enerjiyê û ji %60 zêdetir çirayên floresan teserûfa enerjiyê dikin. Çirayên LED ji çirayên inkandesan ên tungstenê %90 û ji çirayên floresan jî %60 teserûfa enerjiyê dikin. Îro, her cûre çirayên kolanan, çirayên ronahîkirinê û çirayên otomobîlan bi bingehîn fîlmên ronahîder ên LED-ê yên ku ji hêla MOCVD-ê ve têne hilberandin bikar tînin.
2. Germahiya danînê
Germahiya hilweşîna pêkhateyên metalên organîk nizm e, û germahiya danîna wan ji ya HCVD kêmtir e. Germahiya danîna TiN-ê ya ku ji hêla MOCVD-ê ve tê danîn dikare bigihîje nêzîkî 500 pileyan.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: Cotmeh-20-2023