Teknolojiya danîna buxara kîmyewî ya plazmaya têla germ a bi hêza têla germ, çeka têla germ bikar tîne da ku plazmaya têla germ derxe, ku bi kurtî wekî teknolojiya PECVD ya têla germ tê binavkirin. Ev teknoloji dişibihe teknolojiya pêçandina îyonê ya çeka têla germ, lê cûdahî ev e ku fîlma hişk a ku bi pêçandina îyonê ya çeka têla germ tê bidestxistin, herikîna elektrona ronahiya têla ku ji hêla çeka têla germ ve tê derxistin bikar tîne da ku metalê di nav xaçerêyê de germ bike û bihelîne, di heman demê de ronahiya têla germ PECVD bi gazên reaksiyonê, wek CH4 û H2, ku ji bo danîna fîlmên elmasê têne bikar anîn, tê xwarin. Bi xwe dispêre herikîna dakêşana têla germ a bi dendika bilind, ku ji hêla çeka têla germ ve tê derxistin, iyonên gaza reaktîf têne teşwîq kirin da ku cûrbecûr perçeyên çalak, di nav de iyonên gazê, iyonên atomî, komên çalak û hwd., bi dest bixin.
Di cîhaza PECVD ya bi têla germ de, du bobînên elektromanyetîk hîn jî li derveyî odeya pêçandinê hatine sazkirin, ku dibe sedema zivirîna herikîna elektrona bi dendika bilind di dema tevgera ber bi anodê ve, û îhtîmala pevçûn û îyonîzasyonê di navbera herikîna elektronan û gaza reaksiyonê de zêde dike. Bobîna elektromanyetîk dikare di nav stûnek kevanê de jî kom bibe da ku dendika plazmaya tevahiya odeya danînê zêde bike. Di plazmaya kevanê de, dendika van perçeyên çalak bilind e, ku danîna fîlmên elmas û tebeqeyên fîlmên din li ser perçeya kar hêsantir dike.
——Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua Technology ve hate weşandin, açêkerê makîneyên pêçandina optîkî.
Dema weşandinê: Gulan-05-2023