금속 유기 화학 기상 증착

금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD)은 기체 물질의 원료가 금속 유기 화합물 가스이고, 증착의 기본 반응 과정은 CVD와 유사합니다.

1.MOCVD 원료가스

MOCVD에 사용되는 기체 소스는 금속-유기 화합물(MOC) 가스입니다. 금속-유기 화합물은 유기 물질과 금속이 결합하여 생성되는 안정한 화합물입니다. 유기 화합물에는 알킬, 방향족이 있습니다. 알킬에는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸이 포함됩니다. 알킬에는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸이 포함됩니다. 방향족에는 페닐 유사체, 트리메틸 갈륨, [Ga(CH₃)₃], 트리메틸 알루미늄 [Al(CH₃)₃] 마이크로 전자, 광 전자, 반도체의 증착을 위해 Ga(CH3)와 같은 3, 5가지 화합물을 필름층에 첨가합니다.₃)₃ 암모니아는 실리콘 웨이퍼 또는 사파이어 기판의 InGaN 발광층 내 LED 램프 에피택셜 성장에 사용될 수 있습니다. LED 램프는 텅스텐 백열등보다 90% 이상, 형광등보다 60% 이상 에너지 효율이 높습니다. LED 램프는 텅스텐 백열등보다 90%, 형광등보다 60% 더 에너지 효율이 높습니다. 현재 모든 종류의 가로등, 조명등, 자동차 램프는 기본적으로 MOCVD로 생산된 LED 발광 필름을 사용합니다.

2. 증착 온도

유기 금속 화합물의 분해 온도는 낮고, 증착 온도는 HCVD보다 낮습니다. MOCVD로 증착된 TiN의 증착 온도는 약 500도까지 낮출 수 있습니다.

–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화