1.Beneficial for sputtering and plating film insulation. ការផ្លាស់ប្តូរយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃប៉ូលអេឡិចត្រូតអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីបាញ់ដោយផ្ទាល់នូវគោលដៅអ៊ីសូឡង់ដើម្បីទទួលបានខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់។ ប្រសិនបើប្រភពថាមពល DC ត្រូវបានប្រើដើម្បីបំផ្ទុះ និងដាក់ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់ ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់នឹងរារាំងអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានពីការចូលទៅក្នុង cathode បង្កើតជាស្រទាប់ប្រមូលផ្តុំអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមាន ដែលងាយនឹងបំបែក និងបញ្ឆេះ។ បន្ទាប់ពីការដាក់ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់នៅលើ anode អេឡិចត្រុងត្រូវបានរារាំងមិនឱ្យចូលទៅក្នុង anode ដែលបណ្តាលឱ្យមានបាតុភូតនៃការបាត់ anode ។ នៅពេលប្រើប្រភពថាមពល RF ដើម្បីស្រោបខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់ ដោយសារប៉ូលឆ្លាស់គ្នានៃអេឡិចត្រូត បន្ទុកវិជ្ជមានដែលបានប្រមូលផ្តុំនៅលើ cathode ក្នុងពាក់កណ្តាលដំបូងនៃវដ្តនឹងត្រូវបានបន្សាបដោយអេឡិចត្រុងក្នុងពាក់កណ្តាលទីពីរនៃវដ្ត ហើយអេឡិចត្រុងដែលប្រមូលផ្តុំនៅលើ anode នឹងត្រូវបានបន្សាបដោយអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមាន។ ដំណើរការផ្ទុយគ្នានៅក្នុងវដ្តពាក់កណ្តាលទីពីរអាចលុបបំបាត់ការប្រមូលផ្តុំនៃបន្ទុកនៅលើអេឡិចត្រូត ហើយដំណើរការបញ្ចេញទឹកអាចដំណើរការជាធម្មតា។
2.អេឡិចត្រូតប្រេកង់ខ្ពស់បង្កើតភាពលំអៀងដោយខ្លួនឯង។ នៅក្នុងឧបករណ៍ RF ដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធអេឡិចត្រូតរាបស្មើ អេឡិចត្រូតប្រេកង់ខ្ពស់នៅក្នុងសៀគ្វីដោយប្រើការផ្គូផ្គង capacitive coupling បង្កើតវ៉ុលលំអៀងដោយខ្លួនឯង។ ភាពខុសគ្នាដ៏ធំរវាងល្បឿននៃការធ្វើចំណាកស្រុករបស់អេឡិចត្រុង និងល្បឿននៃការធ្វើចំណាកស្រុករបស់អ៊ីយ៉ុងក្នុងការបញ្ចេញអាចឱ្យអេឡិចត្រុងសម្រេចបាននូវល្បឿនចលនាកាន់តែច្រើននៅពេលជាក់លាក់មួយ ខណៈពេលដែលល្បឿនអ៊ីយ៉ុងយឺតបណ្តាលឱ្យមានការប្រមូលផ្តុំ។ អេឡិចត្រូតប្រេកង់ខ្ពស់ស្ថិតនៅក្នុងសក្តានុពលអវិជ្ជមានសម្រាប់ភាគច្រើននៃវដ្តនីមួយៗដែលបណ្តាលឱ្យមានវ៉ុលអវិជ្ជមាននៅលើដីដែលជាបាតុភូតនៃភាពលំអៀងដោយខ្លួនឯងនៃអេឡិចត្រូតប្រេកង់ខ្ពស់។
ភាពលំអៀងដោយខ្លួនឯងដែលបង្កើតឡើងដោយអេឡិចត្រូតបញ្ចេញ RF បង្កើនល្បឿននៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងនៃអេឡិចត្រូត cathode ដើម្បីបន្តបញ្ចេញអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំដើម្បីរក្សាដំណើរការបញ្ចេញចោល ហើយភាពលំអៀងខ្លួនឯងដើរតួនាទីស្រដៀងគ្នាទៅនឹងការធ្លាក់ចុះ cathode នៅក្នុងការបញ្ចេញពន្លឺ DC ។ ទោះបីជាប្រើការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល RF ក៏ដោយក៏ការឆក់អាចមានស្ថេរភាពដោយសារតែវ៉ុលលំអៀងដោយខ្លួនឯងដែលបង្កើតឡើងដោយអេឡិចត្រូតប្រេកង់ខ្ពស់ឈានដល់ 500-1000V ។
3. ការបញ្ចោញប្រេកង់វិទ្យុដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការបញ្ចេញពន្លឺបញ្ចេញពន្លឺនៃសម្ពាធបរិយាកាស និងការបញ្ចេញការបញ្ចេញពន្លឺនៃរបាំង dielectric ដែលណែនាំនៅពេលក្រោយ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ២១ មិថុនា ឆ្នាំ ២០២៣