ការ​ធ្លាក់​ចុះ​ចំហាយ​គីមី​សរីរាង្គ​លោហៈ

ការបំភាយឧស្ម័នគីមីសរីរាង្គលោហធាតុ (MOCVD) ប្រភពនៃសារធាតុឧស្ម័នគឺជាឧស្ម័នសមាសធាតុសរីរាង្គលោហៈ ហើយដំណើរការប្រតិកម្មជាមូលដ្ឋាននៃការបញ្ចេញគឺស្រដៀងនឹង CVD ។

1.MOCVD ឧស្ម័នឆៅ

ប្រភពឧស្ម័នដែលប្រើសម្រាប់ MOCVD គឺជាឧស្ម័នសរីរាង្គលោហៈ (MOC) ។ សមាសធាតុលោហធាតុ - សរីរាង្គគឺជាសមាសធាតុមានស្ថេរភាពដែលផលិតដោយការផ្សំសារធាតុសរីរាង្គជាមួយលោហធាតុ។ សមាសធាតុសរីរាង្គមានអាល់គីលក្លិនក្រអូប។ អាល់គីលរួមមាន មេទីល អេទីល ប្រូភីល និងប៊ូទីល។ អាល់គីលរួមមាន មេទីល អេទីល ប្រូភីល និងប៊ូទីល។ ក្លិនក្រអូបរួមមាន phenyl homologues, trimethyl gallium, [Ga(CH₃)₃], អាលុយមីញ៉ូម trimethyl [Al(CH₃)₃] សម្រាប់ការទម្លាក់មីក្រូអេឡិចត្រូនិច អុបតូអេឡិចត្រូនិច សារធាតុ semiconductors នៅក្នុងសមាសធាតុទាំងបី ប្រាំនៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ដូចជា Ga(CH₃)₃ និងអាម៉ូញាក់អាចនៅក្នុងស៊ីលីកុន wafer ឬត្បូងកណ្តៀងនៅលើកំណើន epitaxial នៃចង្កៀង LED នៅក្នុងស្រទាប់ luminescent InGaN ។ អំពូល LED គឺច្រើនជាង tungsten incandescent សន្សំថាមពល 90%, ច្រើនជាង 60% ចង្កៀង fluorescent សន្សំថាមពល។ អំពូល LED មានប្រសិទ្ធភាពថាមពលជាង 90% ជាងចង្កៀង tungsten incandescent និង 60% ប្រសិទ្ធភាពថាមពលជាងចង្កៀង fluorescent ។ សព្វថ្ងៃនេះ ចង្កៀងបំភ្លឺផ្លូវគ្រប់ប្រភេទ ចង្កៀងបំភ្លឺ និងចង្កៀងរថយន្ត ជាមូលដ្ឋានប្រើប្រាស់ អំពូល LED ដែលផលិតដោយ MOCVD ។

2. សីតុណ្ហភាព​នៃ​ការ​ធ្លាក់​ចុះ​

សីតុណ្ហភាពរលាយនៃសមាសធាតុលោហធាតុសរីរាង្គមានកម្រិតទាប ហើយសីតុណ្ហភាពនៃការរលាយគឺទាបជាង HCVD ។ សីតុណ្ហភាពនៃ TiN ដែលដាក់ដោយ MOCVD អាចត្រូវបានកាត់បន្ថយដល់ប្រហែល 500 ដឺក្រេ។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ