ធ្នូលួសក្តៅ បង្កើនបច្ចេកវិជ្ជាបន្សាបចំហាយគីមីប្លាស្មា

បច្ចេកវិជ្ជាបំភាយចំហាយគីមីនៃប្លាស្មាបានប្រសើរឡើង ប្រើកាំភ្លើងធ្នូលួសក្តៅ ដើម្បីបញ្ចេញប្លាស្មាអាក ដែលអក្សរកាត់ថាជាបច្ចេកវិទ្យា hot wire arc PECVD ។ បច្ចេកវិទ្យានេះគឺស្រដៀងគ្នាទៅនឹងបច្ចេកវិទ្យា hot wire arc gun ion coating technology ប៉ុន្តែភាពខុសគ្នានោះគឺថា ខ្សែភាពយន្តរឹងដែលទទួលបានដោយ coating hot wire arc gun ion coating ប្រើប្រាស់លំហូរអេឡិចត្រុងពន្លឺ arc ដែលបញ្ចេញដោយ hot wire arc gun ដើម្បីកំដៅ និងហួតលោហៈនៅក្នុង crucible ខណៈពេលដែល hot wire arc light PECVD ត្រូវបានបញ្ចូលជាមួយឧស្ម័នប្រតិកម្ម ដូចជា CH4 និង H2 ។ ដោយពឹងផ្អែកលើចរន្តបញ្ចេញធ្នូដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ដែលបញ្ចេញដោយកាំភ្លើងធ្នូលួសក្តៅ អ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នប្រតិកម្មរំភើបចិត្តក្នុងការទទួលបានភាគល្អិតសកម្មជាច្រើន រួមទាំងអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័ន អាតូមអ៊ីយ៉ុង ក្រុមសកម្ម និងដូច្នេះនៅលើ។

នៅក្នុងឧបករណ៍ PECVD arc លួសក្តៅ ឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកពីរនៅតែត្រូវបានតំឡើងនៅខាងក្រៅបន្ទប់ស្រោបដែលបណ្តាលឱ្យលំហូរអេឡិចត្រុងដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់បង្វិលកំឡុងពេលចលនាឆ្ពោះទៅកាន់ anode បង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចនិងអ៊ីយ៉ូដរវាងលំហូរអេឡិចត្រុងនិងឧស្ម័នប្រតិកម្ម។ ឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកក៏អាចបំប្លែងទៅជាជួរឈរធ្នូដើម្បីបង្កើនដង់ស៊ីតេប្លាស្មានៃអង្គធាតុរាវទាំងមូល។ នៅក្នុង arc plasma ដង់ស៊ីតេនៃភាគល្អិតសកម្មទាំងនេះគឺខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាកាន់តែងាយស្រួលក្នុងការដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ និងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តផ្សេងទៀតនៅលើ workpiece ។

—— អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology, aក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក.