(1) ការបញ្ចេញឧស្ម័ន។ ឧស្ម័ន sputtering គួរតែមានលក្ខណៈនៃទិន្នផល sputtering ខ្ពស់, inert ទៅសម្ភារៈគោលដៅ, ថោក, ងាយស្រួលក្នុងការទទួលបានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់និងលក្ខណៈផ្សេងទៀត។ និយាយជាទូទៅ argon គឺជាឧស្ម័ន sputtering ដ៏ល្អជាង។
(2) វ៉ុលស្ពែរ និងវ៉ុលស្រទាប់ខាងក្រោម។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងពីរនេះមានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់លើលក្ខណៈនៃខ្សែភាពយន្តនេះ វ៉ុល sputtering មិនត្រឹមតែប៉ះពាល់ដល់អត្រានៃប្រាក់បញ្ញើប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់រចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។ សក្តានុពលស្រទាប់ខាងក្រោមប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់លំហូរអេឡិចត្រុងឬអ៊ីយ៉ុងនៃការចាក់របស់មនុស្ស។ ប្រសិនបើស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានដី វាត្រូវបានទម្លាក់ដោយអេឡិចត្រុងសមមូល។ ប្រសិនបើស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានព្យួរ វាស្ថិតនៅក្នុងតំបន់បញ្ចេញពន្លឺ ដើម្បីទទួលបានសក្តានុពលអវិជ្ជមានបន្តិចដែលទាក់ទងទៅនឹងដីនៃសក្តានុពលព្យួរ V1 ហើយសក្តានុពលនៃប្លាស្មានៅជុំវិញស្រទាប់ខាងក្រោម V2 ខ្ពស់ជាងសក្តានុពលស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលនឹងផ្តល់ការកើនឡើងដល់កម្រិតជាក់លាក់នៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកនៃអេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមាន ដែលបណ្តាលឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរនៅក្នុងលក្ខណៈ និងកម្រាស់នៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ វាអនុលោមតាមបន្ទាត់រាងប៉ូលនៃការទទួលយកអគ្គិសនីនៃអេឡិចត្រុងឬអ៊ីយ៉ុងមិនត្រឹមតែអាចបន្សុទ្ធស្រទាប់ខាងក្រោមនិងបង្កើនភាពស្អិតរបស់ខ្សែភាពយន្តប៉ុណ្ណោះទេថែមទាំងផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្តផងដែរ។ នៅក្នុងថ្នាំកូត sputtering ប្រេកង់វិទ្យុ ការរៀបចំនៃភ្នាស conductor បូក DC លំអៀង: ការរៀបចំភ្នាស dielectric បូកលៃតម្រូវលំអៀង។
(3) សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោម។ សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមមានឥទ្ធិពលកាន់តែខ្លាំងទៅលើភាពតានតឹងខាងក្នុងនៃខ្សែភាពយន្ត ដែលដោយសារតែសីតុណ្ហភាពប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើសកម្មភាពនៃអាតូមដែលបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ដូច្នេះកំណត់សមាសភាពនៃខ្សែភាពយន្ត រចនាសម្ព័ន្ធ ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម ទិសគ្រីស្តាល់ និងភាពមិនពេញលេញ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ០៥ ខែមករា ឆ្នាំ២០២៤