Металл органикалық химиялық булардың тұндыру (MOCVD), газ тәрізді материалдың көзі металл органикалық қосылыс газы болып табылады және тұндыру реакциясының негізгі процесі CVD-ге ұқсас.
1.MOCVD шикі газы
MOCVD үшін пайдаланылатын газ тәрізді көз металл-органикалық қосылыс (MOC) газы болып табылады. Металл органикалық қосылыстар – органикалық заттарды металдармен біріктіру арқылы түзілетін тұрақты қосылыстар. Органикалық қосылыстарда алкил, ароматты болады. Алкилге метил, этил, пропил және бутил жатады. Алкилге метил, этил, пропил және бутил жатады. Хош иісті, соның ішінде фенил гомологтары, триметилгалий, [Ga(CH3)3], триметил алюминий [Al(CH3)3] микроэлектрониканы, оптоэлектрониканы, жартылай өткізгіштерді қабықша қабатындағы Ga(CH) сияқты үш, бес қосылыстарға қою үшін3)3 және аммиак InGaN люминесцентті қабатындағы жарықдиодты шамдардың эпитаксиалды өсіндісінде кремний пластинасында немесе сапфирде болуы мүмкін. Жарықдиодты шамдар вольфрамдық қыздыру шамдарына қарағанда энергияны үнемдейтін 90%, энергияны үнемдейтін 60% -дан астам флуоресцентті лампалар. Жарықдиодты шамдар вольфрамды қыздыру шамдарына қарағанда 90% және люминесцентті лампаларға қарағанда 60% энергияны үнемдейді. Қазіргі уақытта көше шамдарының, жарықтандыру шамдарының және автомобиль шамдарының барлық түрлері негізінен MOCVD шығарған жарықдиодты жарық шығаратын пленкаларды пайдаланады.
2. Тұндыру температурасы
Органикалық металл қосылыстарының ыдырау температурасы төмен, ал тұндыру температурасы HCVD-ге қарағанда төмен. MOCVD арқылы тұндырылған TiN тұндыру температурасын шамамен 500 градусқа дейін төмендетуге болады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Хабарлама уақыты: 20 қазан-2023 ж