Ыстық сым доғасының жақсартылған плазмалық химиялық бу тұндыру технологиясы доғалық плазманы шығару үшін ыстық сым доғалы пистолетті пайдаланады, қысқартылған ыстық сым доғасы PECVD технологиясы. Бұл технология ыстық сымның доғалы пистолетті ионды жабу технологиясына ұқсас, бірақ айырмашылығы мынада: ыстық сымның доғалы пистолетті иондық жабынымен алынған қатты пленка тигельдегі металды қыздыру және буландыру үшін ыстық сым доғалы пистолеттен шығатын доғалық жарық электронды ағынын пайдаланады, ал ыстық сым доға жарығы PECVD реакциялық газдармен қоректенеді, мысалы, CH4 және диамонды шөгінділер үшін қолданылады. Ыстық сымның доғалық пистолетті шығаратын жоғары тығыздықтағы доғалық разрядтық токқа сүйене отырып, реактивті газ иондары әртүрлі белсенді бөлшектерді, соның ішінде газ иондарын, атомдық иондарды, белсенді топтарды және т.б. алу үшін қозғалады.
Ыстық сымды доғалық PECVD құрылғысында екі электромагниттік катушкалар жабын бөлмесінің сыртында әлі де орнатылған, бұл анодқа қарай қозғалыс кезінде жоғары тығыздықтағы электрон ағынының айналуын тудырады, электрон ағыны мен реакция газы арасындағы соқтығысу және иондану ықтималдығын арттырады. Электромагниттік катушка сонымен қатар бүкіл тұндыру камерасының плазмалық тығыздығын арттыру үшін доға бағанасына біріктірілуі мүмкін. Доғалық плазмада бұл белсенді бөлшектердің тығыздығы жоғары, бұл алмаз пленкаларын және басқа пленка қабаттарын дайындамаға салуды жеңілдетеді.
——Бұл мақаланы Guangdong Zhenhua Technology, аоптикалық қаптау машиналарын өндіруші.
Жіберу уақыты: 05 мамыр 2023 ж