(1) Шашыратушы газ. Шашыратушы газ жоғары шашырандылық шығымдылығы, мақсатты материалға инертті, арзан, жоғары тазалықты алу оңай және басқа сипаттамаларға ие болуы керек. Жалпы айтқанда, аргон ең жақсы шашыратқыш газ болып табылады.
(2) Шашырату кернеуі және субстрат кернеуі. Бұл екі параметр пленка сипаттамаларына маңызды әсер етеді, шашырау кернеуі тұндыру жылдамдығына әсер етіп қана қоймайды, сонымен қатар тұндырылған пленка құрылымына айтарлықтай әсер етеді. Субстрат потенциалы адамның инъекциясының электрон немесе ион ағынына тікелей әсер етеді. Егер субстрат жерге тұйықталған болса, ол эквивалентті электрондармен бомбаланады; егер субстрат ілулі болса, онда ол V1 суспензия потенциалының жеріне қатысты сәл теріс потенциалды алу үшін жарқырау разряд аймағында болады, ал V2 субстрат айналасындағы плазманың потенциалы субстрат потенциалынан жоғары болады, бұл электрондар мен оң иондардың белгілі бір дәрежеде бомбалануын тудырады, нәтижесінде пленка қалыңдығының, құрамының және басқа да сипаттамаларының өзгеруіне әкеледі: электрондардың немесе иондардың электрлік қабылдануы субстратты тазартып, пленканың адгезиясын күшейтіп қана қоймайды, сонымен қатар пленка құрылымын өзгертеді. Радиожиілікті шашыратқыш қаптамада өткізгіш мембрананы дайындау және тұрақты ток ығысуы: диэлектрлік мембрананы плюс баптау қисаюын дайындау.
(3) Субстрат температурасы. Субстрат температурасы пленканың ішкі кернеуіне көбірек әсер етеді, бұл температура субстратта тұндырылған атомдардың белсенділігіне тікелей әсер етеді, осылайша қабықшаның құрамын, құрылымын, орташа түйір өлшемін, кристалды бағдарлауды және толық еместігін анықтайды.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 05 қаңтар 2024 ж