(1) გაფრქვევის აირი. გაფრქვევის აირს უნდა ჰქონდეს მაღალი გაფრქვევის გამოსავლიანობა, სამიზნე მასალის მიმართ ინერტული, იაფი, ადვილად მისაღები, მაღალი სისუფთავის და სხვა მახასიათებლები. ზოგადად, არგონი უფრო იდეალური გაფრქვევის აირია.
(2) გაფრქვევის ძაბვა და სუბსტრატის ძაბვა. ეს ორი პარამეტრი მნიშვნელოვან გავლენას ახდენს ფირის მახასიათებლებზე, გაფრქვევის ძაბვა არა მხოლოდ გავლენას ახდენს დეპონირების სიჩქარეზე, არამედ სერიოზულად მოქმედებს დალექილი ფირის სტრუქტურაზე. სუბსტრატის პოტენციალი პირდაპირ გავლენას ახდენს ადამიანის ინექციის ელექტრონების ან იონების ნაკადზე. თუ სუბსტრატი დამიწებულია, ის იბომბება ეკვივალენტური ელექტრონებით; თუ სუბსტრატი შეჩერებულია, ის დინების განმუხტვის არეში იღებს სუსპენზიის პოტენციალის V1 ოდნავ უარყოფით პოტენციალს მიწასთან მიმართებაში, ხოლო სუბსტრატის გარშემო პლაზმის პოტენციალი V2 უფრო მაღალია, ვიდრე სუბსტრატის პოტენციალი, რაც გამოიწვევს ელექტრონებისა და დადებითი იონების გარკვეული ხარისხის დაბომბვას, რაც გამოიწვევს ფირის სისქის, შემადგენლობისა და სხვა მახასიათებლების ცვლილებებს: თუ სუბსტრატზე მიზანმიმართულად გამოიყენება დეგრადაციის ძაბვა ისე, რომ ის შეესაბამებოდეს ელექტრონების ან იონების ელექტრული მიღების პოლარობას, მას არა მხოლოდ შეუძლია სუბსტრატის გაწმენდა და ფირის ადჰეზიის გაძლიერება, არამედ ფირის სტრუქტურის შეცვლაც. რადიოსიხშირული გაფრქვევის საფარში, გამტარი მემბრანისა და DC დეგრადაციის მომზადება: დიელექტრული მემბრანისა და რეგულირების დეგრადაციის მომზადება.
(3) სუბსტრატის ტემპერატურა. სუბსტრატის ტემპერატურას უფრო დიდი გავლენა აქვს აპკის შიდა დაძაბულობაზე, რაც განპირობებულია იმით, რომ ტემპერატურა პირდაპირ გავლენას ახდენს სუბსტრატზე დალექილი ატომების აქტივობაზე, რითაც განისაზღვრება აპკის შემადგენლობა, სტრუქტურა, მარცვლის საშუალო ზომა, კრისტალის ორიენტაცია და არასრულყოფილება.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 5 იანვარი