Panggunaan RF discharge

1.Beneficial kanggo sputtering lan plating film jampel. Owah-owahan kanthi cepet ing polaritas elektroda bisa digunakake kanggo langsung sputter target insulating kanggo njupuk film insulating. Yen sumber daya DC digunakake kanggo sputter lan nyimpen film jampel, film jampel bakal mblokir ion positif saka ngetik cathode, mbentuk lapisan akumulasi ion positif, kang rawan kanggo risak lan kontak. Sawise nyetop film insulasi ing anoda, elektron diblokir supaya ora mlebu anoda, nyebabake fenomena ilang anoda. Nalika nggunakake sumber daya RF kanggo jas film jampel, amarga kutub bolak-balik saka elektrods, biaya positif nambah ing cathode ing separo pisanan siklus bakal neutralized dening elektron ing separo kapindho siklus, lan elektron akumulasi ing anoda bakal neutralized dening ion positif. Proses ngelawan ing siklus setengah kapindho bisa ngilangke klempakan saka biaya ing elektroda, lan proses discharge bisa nerusake biasane.

2. Elektroda frekuensi dhuwur ngasilake bias dhewe. Ing piranti RF karo struktur elektroda warata, elektrods frekuensi dhuwur ing sirkuit nggunakake capacitive coupling cocog generate voltase bias poto. Bentenipun ageng antarane kacepetan migrasi elektron lan kacepetan migrasi ion ing discharge mbisakake elektron kanggo entuk kacepetan gerakan luwih ing wektu tartamtu, nalika kacepetan ion luwih alon nyebabake akumulasi. Elektroda frekuensi dhuwur ing potensial negatif kanggo paling saben siklus, asil ing voltase negatif ing terrain, kang fénoména bias poto elektroda frekuensi dhuwur.

Bias diri sing diasilake dening elektroda discharge RF nyepetake pamboman ion elektroda katoda kanggo terus-terusan ngetokake elektron sekunder kanggo njaga proses discharge, lan bias diri nduweni peran sing padha karo drop cathode ing discharge cemlorot DC. Sanajan nggunakake sumber daya RF, discharge bisa stabil amarga voltase bias diri sing diasilake dening elektroda frekuensi dhuwur sing tekan 500-1000V.

3. Discharge frekuensi radio nduweni peran penting ing discharge cemlorot meksa atmosfer lan discharge cemlorot alangi dielektrik sing ditepungake mengko.