1. מועיל להתזה וציפוי סרט בידוד. השינוי המהיר בקוטביות האלקטרודה יכול לשמש להתזה ישירה של מטרות בידוד כדי לקבל סרטי בידוד. אם משתמשים במקור מתח DC להתזה ולהפקדת סרט בידוד, סרט הבידוד יחסום יונים חיוביים מלהיכנס לקתודה, ויוצר שכבת הצטברות יונים חיוביים, הנוטה להתפרקות ולהצתה. לאחר הפקדת סרט הבידוד על האנודה, אלקטרונים נחסמים מלהיכנס לאנודה, וכתוצאה מכך נוצרת תופעת היעלמות האנודה. בעת שימוש במקור מתח RF לציפוי סרט בידוד, עקב הקוטביות המתחלפת של האלקטרודות, המטענים החיוביים שהצטברו על הקתודה במחצית הראשונה של המחזור ינוטרלו על ידי אלקטרונים במחצית השנייה של המחזור, והאלקטרונים שהצטברו על האנודה ינוטרלו על ידי יונים חיוביים. התהליך ההפוך במחצית השנייה של המחזור יכול לבטל את הצטברות המטענים על האלקטרודה, ותהליך הפריקה יכול להתקדם כרגיל.
2. אלקטרודות בתדר גבוה יוצרות מתח הטיה עצמית. במכשיר RF עם מבנה אלקטרודה שטוח, האלקטרודות בתדר גבוה במעגל, המשתמשות בצימוד קיבולי, מייצרות מתח הטיה עצמית. ההבדל העצום בין מהירות נדידת האלקטרונים למהירות נדידת היונים בפריקה מאפשר לאלקטרונים להשיג מהירות תנועה גדולה יותר בזמן נתון, בעוד שמהירות היונים האיטית יותר גורמת להצטברות. האלקטרודה בתדר גבוה נמצאת בפוטנציאל שלילי במשך רוב כל מחזור, וכתוצאה מכך נוצר מתח שלילי על פני השטח, וזוהי תופעת ההטיה העצמית של האלקטרודה בתדר גבוה.
ההטיה העצמית הנוצרת על ידי אלקטרודת פריקת ה-RF מאיצה את הפצצת היונים של אלקטרודת הקתודה כדי לפלוט באופן רציף אלקטרונים משניים כדי לשמור על תהליך הפריקה, והטיה העצמית ממלאת תפקיד דומה לנפילת הקתודה בפריקת זוהר DC. למרות השימוש בספק כוח RF, הפריקה יכולה להיות יציבה עקב מתח ההטיה העצמית הנוצר על ידי האלקטרודה בתדר גבוה המגיע ל-500-1000V.
3. פריקת תדר רדיו ממלאת תפקיד חשוב בפריקת זוהר בלחץ אטמוספרי ובפריקת זוהר מחסום דיאלקטרי שהוצגו מאוחר יותר.
זמן פרסום: 21 ביוני 2023