שקיעת אדים כימית אורגנית מתכתית (MOCVD), מקור החומר הגזי הוא גז תרכובת אורגנית מתכתית, ותהליך התגובה הבסיסי של השקיעה דומה ל-CVD.
1. גז גולמי MOCVD
מקור הגזי המשמש ל-MOCVD הוא גז תרכובת מתכת-אורגנית (MOC). תרכובות מתכת-אורגניות הן תרכובות יציבות המיוצרות על ידי שילוב חומרים אורגניים עם מתכות. תרכובות אורגניות מכילות אלקיל וארומטי. אלקיל כולל מתיל, אתיל, פרופיל ובוטיל. אלקיל כולל מתיל, אתיל, פרופיל ובוטיל. ארומטי כולל הומולוגים של פניל, טרימתיל גליום, [Ga(CH3)3], טרימתיל אלומיניום [Al(CH3)3] עבור שקיעת מיקרואלקטרוניקה, אופטואלקטרוניקה, מוליכים למחצה בשלוש, חמש תרכובות בשכבת הסרט, כגון Ga(CH3)3 ואמוניה יכולה להיות בשכבת InGaN הזוהרת בפרוסת סיליקון או ספיר על גבי שכבת הצמיחה האפיטקסיאלית של נורות LED. נורות LED חוסכות אנרגיה ביותר מ-90% מנורות ליבון טונגסטן, וחסכוניות אנרגיה ביותר מ-60% מנורות פלורסנט. נורות LED יעילות אנרגטית יותר ב-90% ממנורות ליבון טונגסטן ו-60% ממנורות פלורסנט. כיום, כל סוגי פנסי הרחוב, מנורות התאורה ופנסי הרכב משתמשים בעיקר בסרטי LED פולטי אור המיוצרים על ידי MOCVD.
2. טמפרטורת השקיעה
טמפרטורת הפירוק של תרכובות מתכת אורגניות נמוכה, וטמפרטורת השיקוע נמוכה מזו של HCVD. ניתן להפחית את טמפרטורת השיקוע של TiN המופקד על ידי MOCVD לכ-500 מעלות.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 20 באוקטובר 2023