טכנולוגיית ציפוי אדים כימי באמצעות פלזמה משופרת בקשת חוט חם משתמשת באקדח קשת חוט חם כדי לפלוט פלזמת קשת, בקיצור טכנולוגיית PECVD של קשת חוט חם. טכנולוגיה זו דומה לטכנולוגיית ציפוי יונים באקדח קשת חוט חם, אך ההבדל הוא שהסרט המוצק המתקבל על ידי ציפוי יונים באקדח קשת חוט חם משתמש בזרימת אלקטרונים של אור קשת הנפלט מאקדח קשת החוט החם כדי לחמם ולאדות את המתכת בכור ההיתוך, בעוד ש-PECVD של אור קשת החוט החם מוזן בגזי תגובה, כגון CH4 ו-H2, המשמשים להפקדת סרטי יהלום. על ידי הסתמכות על זרם פריקת הקשת בצפיפות גבוהה הנפלט מאקדח קשת החוט החם, יוני הגז הריאקטיביים מעוררים לקבלת חלקיקים פעילים שונים, כולל יוני גז, יונים אטומיים, קבוצות פעילות וכן הלאה.
במכשיר PECVD לקשת חוט חם, שני סלילים אלקטרומגנטיים עדיין מותקנים מחוץ לחדר הציפוי, מה שגורם לזרימת האלקטרונים בצפיפות גבוהה להסתובב במהלך התנועה לכיוון האנודה, מה שמגדיל את הסבירות להתנגשות ויינון בין זרימת האלקטרונים לגז התגובה. הסליל האלקטרומגנטי יכול גם להתכנס לעמודת קשת כדי להגדיל את צפיפות הפלזמה של כל תא השיקוע. בפלזמת קשת, צפיפות החלקיקים הפעילים הללו גבוהה, מה שמקל על שיקוע סרטי יהלום ושכבות סרט אחרות על חומר העבודה.
——מאמר זה פורסם על ידי גואנגדונג ז'נהואה טכנולוגיה, חברהיצרן מכונות ציפוי אופטי.
זמן פרסום: 5 במאי 2023