Útfelling gufu úr málmum og lífrænum efnum

Efnafræðileg gufuútfelling málma (MOCVD), uppspretta loftkennds efnis er málmefnasambandsgas og grunnviðbrögðin við útfellingu eru svipuð og CVD.

1.MOCVD hrágas

Lofttegundin sem notuð er fyrir MOCVD er málm-lífrænt efnasamband (MOC) gas. Málm-lífræn efnasambönd eru stöðug efnasambönd sem myndast með því að sameina lífræn efni við málma. Lífræn efnasambönd hafa alkýl, arómatísk. Alkýl innihalda metýl, etýl, própýl og bútýl. Alkýl innihalda metýl, etýl, própýl og bútýl. Arómatísk innihalda fenýl samsvarandi efnasambönd, trímetýl gallíum, [Ga(CH₃)₃], trímetýl ál [Al(CH₃)₃] fyrir útfellingu örrafeinda, ljósrafeinda og hálfleiðara í þremur, fimm efnasamböndum í filmulaginu, svo sem Ga(CH₃)₃ og ammoníak getur verið í kísilplötunni eða safír á epitaxial vexti LED lampa í InGaN ljómandi lagi. LED lampar eru orkusparandi um 90% en wolfram glóperur, meira en 60% orkusparandi flúrperur. LED lampar eru 90% orkusparandi en wolfram glóperur og 60% orkusparandi en flúrperur. Nú á dögum nota alls konar götulampar, lýsingarlampar og bílalampar aðallega LED ljósgeislunarfilmur sem MOCVD framleiðir.

2. Útfellingarhitastig

Niðurbrotshitastig lífrænna málmsambanda er lágt og útfellingarhitastigið er lægra en fyrir HCVD. Útfellingarhitastig TiN sem er sett niður með MOCVD er hægt að lækka niður í um 500 gráður.

–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua