Efnafræðileg gufuútfellingartækni með heitvírbogabættu plasma notar heitvírbogabyssu til að gefa frá sér plasmaboga, skammstafað sem heitvírboga PECVD tækni. Þessi tækni er svipuð jónhúðunartækni með heitvírbogabyssu, en munurinn er sá að fasta filman sem myndast með jónhúðun með heitvírbogabyssu notar rafeindaflæði frá rafbogabyssunni til að hita og gufa upp málminn í deiglunum, en heitvírbogabyssan með PECVD er fóðruð með hvarfgösum eins og CH4 og H2, sem eru notuð til að setja út demantfilmur. Með því að reiða sig á þéttleikaútfellingarstrauminn frá heitvírbogabyssunni eru hvarfgjörnu gasjónirnar örvaðar til að mynda ýmsar virkar agnir, þar á meðal gasjónir, atómjónir, virka hópa og svo framvegis.
Í PECVD tækinu fyrir heitvírboga eru tvær rafsegulspólur enn settar upp fyrir utan húðunarherbergið, sem veldur því að straumur rafeinda með mikilli þéttleika snýst á meðan hann hreyfist í átt að anóðunni, sem eykur líkur á árekstri og jónun milli rafeindastraumsins og hvarfgassins. Rafsegulspólan getur einnig sameinast í bogasúlu til að auka plasmaþéttleika alls útfellingarhólfsins. Í bogaplasma er þéttleiki þessara virku agna mikill, sem gerir það auðveldara að setja demantfilmur og önnur filmulög á vinnustykkið.
—— Þessi grein var gefin út af Guangdong Zhenhua Technology, aframleiðandi á ljósfræðilegum húðunarvélum.
Birtingartími: 5. maí 2023