(1) Sprautunargas. Sprautunargasið ætti að hafa eiginleika eins og mikla spúttunarafköst, vera óvirkt gagnvart markefninu, ódýrt, auðvelt að fá það með mikilli hreinleika og aðra eiginleika. Almennt séð er argon kjörgasið fyrir sprautun.
(2) Sprautunarspenna og undirlagsspenna. Þessir tveir þættir hafa mikilvæg áhrif á eiginleika filmunnar. Sprautunarspenna hefur ekki aðeins áhrif á útfellingarhraða heldur einnig alvarleg áhrif á uppbyggingu filmunnar sem er sett niður. Undirlagsspenna hefur bein áhrif á rafeinda- eða jónaflæði mannsins. Ef undirlagið er jarðtengt verður það fyrir sprengjuárás jafngildra rafeinda; ef undirlagið er sviflausn myndast örlítið neikvæð spenna miðað við jörðina á sviflausnarspennunni V1 og spennan í plasmanu í kringum undirlagið V2 verður hærri en undirlagsspennan, sem veldur ákveðinni sprengjuárás rafeinda og jákvæðra jóna, sem leiðir til breytinga á filmuþykkt, samsetningu og öðrum eiginleikum: ef undirlagið er beitt með ákveðinni spennu, þannig að hún sé í samræmi við rafskautun rafeinda eða jóna, getur það ekki aðeins hreinsað undirlagið og aukið viðloðun filmunnar, heldur einnig breytt uppbyggingu filmunnar. Í útvarpsbylgjusprautunarhúðun er undirbúningur leiðarahimnu ásamt jafnstraumsspennu: undirbúningur rafskauthimnu ásamt stillingarspennu.
(3) Hitastig undirlagsins. Hitastig undirlagsins hefur meiri áhrif á innri spennu filmunnar, sem stafar af því að hitastigið hefur bein áhrif á virkni atómanna sem sett eru á undirlagið og ræður þannig samsetningu filmunnar, uppbyggingu, meðalkornastærð, kristalstefnu og ófullkomleika.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 5. janúar 2024