Igwe ọkụ waya na-ekpo ọkụ na-akwalite teknụzụ ikuku kemịkalụ plasma na-eji egbe ọkụ waya na-ebupụta plasma arc, nke akpọchiri dị ka teknụzụ PECVD na-ekpo ọkụ. Nke a na nkà na ụzụ yiri ọkụ waya arc egbe ion mkpuchi technology, ma ihe dị iche bụ na siri ike film enweta site na-ekpo ọkụ waya arc gun ion mkpuchi na-eji arc ìhè electron eruba emitted site na-ekpo ọkụ waya arc egbe na-ekpo ọkụ na evaporate na metal na crucible, mgbe ọkụ waya arc ìhè PECVD na-eri nri na mmeghachi omume gas, dị ka CH4 na H2, nke a na-eji ihe nkiri nkwụnye ego. Site na ịdabere na njupụta arc dị elu na-ewepụta ugbu a site na egbe ọkụ waya na-ekpo ọkụ, ion gas na-emeghachi omume na-enwe obi ụtọ inweta ihe dị iche iche na-arụ ọrụ, gụnyere gas ion, ion atomic, òtù na-arụ ọrụ, na ihe ndị ọzọ.
Na ngwaọrụ arc PECVD na-ekpo ọkụ, a ka na-etinye eriri abụọ electromagnetic n'èzí ụlọ mkpuchi ahụ, na-eme ka ụda electron dị elu na-atụgharị n'oge mmegharị ahụ na-aga n'ihu na anode, na-abawanye ohere nke nkukota na ionization n'etiti ikuku electron na gas mmeghachi omume. Igwe ọkụ eletrik nwekwara ike ịbanye na kọlụm arc iji mee ka njupụta plasma nke ụlọ nkwakọba ihe niile. Na arc plasma, njupụta nke ihe ndị a na-arụ ọrụ dị elu, na-eme ka ọ dịkwuo mfe itinye ihe nkiri diamond na ihe nkiri ndị ọzọ na-arụ ọrụ.
——Ndị teknụzụ Guangdong Zhenhua wepụtara akụkọ a, aemeputa igwe mkpuchi anya.
Oge nzipu: Mee-05-2023