(1) gas na-agbasa. The sputtering gas kwesịrị inwe àgwà nke elu sputtering mkpụrụ, inert na lekwasịrị ihe onwunwe, ọnụ ala, mfe iji nweta elu ịdị ọcha na ndị ọzọ àgwà. N'ikwu okwu n'ozuzu, argon bụ gas kachasị mma na-agbapụta.
(2) Ịgbasa voltaji na voltaji mkpụrụ. Akụkụ abụọ a nwere mmetụta dị mkpa na njirimara nke ihe nkiri ahụ, voltaji na-agbapụta ọ bụghị nanị na-emetụta ọnụ ọgụgụ ntinye ego, ma ọ na-emetụtakwa usoro nke ihe nkiri ahụ echekwabara. Ikike nke mkpụrụ osisi na-emetụta ọsọ elektrọn ma ọ bụ ion nke injection mmadụ. Ọ bụrụ na mkpụrụ akụ na-agbada, a na-atụba ya site na electrons yiri ya; Ọ bụrụ na a kwụsịtụrụ mkpụrụ ahụ, ọ bụ n'ebe na-egbuke egbuke iji nweta ntakịrị ihe na-adịghị mma gbasara ala nke nkwusioru nwere ike V1, na ikike nke plasma dị n'akụkụ V2 nke dị elu karịa ikike nke mkpụrụ, nke ga-enye ịrị elu ụfọdụ nke bombu electrons na ions dị mma, na-eme ka mgbanwe dị na fim ahụ, ihe mejupụtara, na àgwà ndị ọzọ: nnabata nke electrons ma ọ bụ ion, ọ bụghị naanị nwere ike ime ka mkpụrụ ahụ dị ọcha ma welie adhesion nke ihe nkiri ahụ, ma gbanwee usoro ihe nkiri ahụ. N'ime mkpuchi mgbasa ozi ugboro redio, nkwadebe nke akpụkpọ ahụ na-eduzi gbakwunyere nhụsianya DC: nkwadebe nke akpụkpọ anụ dielectric gbakwunyere nlegharị anya nhụsianya.
(3) Substrate okpomọkụ. Substrate okpomọkụ nwere mmetụta dị ukwuu na nrụgide dị n'ime ihe nkiri ahụ, nke bụ n'ihi na okpomọkụ na-emetụta kpọmkwem ọrụ nke atom ndị a na-edebe na mkpụrụ, si otú a na-ekpebi ihe mejupụtara nke ihe nkiri ahụ, nhazi, nkezi ọka ọka, nhazi kristal na ezughị ezu.
–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuGuangdong Zhenhua
Oge nzipu: Jan-05-2024