Pemanfaatan pelepasan RF

1. Bermanfaat untuk pelapisan dan penyemprotan film insulasi. Perubahan cepat dalam polaritas elektroda dapat digunakan untuk menyemprotkan langsung target insulasi guna memperoleh film insulasi. Jika sumber daya DC digunakan untuk menyemprotkan dan melapisi film insulasi, film insulasi akan menghalangi ion positif memasuki katode, membentuk lapisan akumulasi ion positif, yang rentan terhadap kerusakan dan penyalaan. Setelah melapisi film insulasi pada anoda, elektron terhalang memasuki anoda, yang mengakibatkan fenomena hilangnya anoda. Saat menggunakan sumber daya RF untuk melapisi film insulasi, karena polaritas elektroda yang bergantian, muatan positif yang terkumpul pada katode pada paruh pertama siklus akan dinetralkan oleh elektron pada paruh kedua siklus, dan elektron yang terkumpul pada anoda akan dinetralkan oleh ion positif. Proses sebaliknya pada paruh kedua siklus dapat menghilangkan akumulasi muatan pada elektroda, dan proses pelepasan dapat berlangsung secara normal.

2. Elektroda frekuensi tinggi menghasilkan bias sendiri. Pada perangkat RF dengan struktur elektroda datar, elektroda frekuensi tinggi di sirkuit menggunakan pencocokan kopling kapasitif menghasilkan tegangan bias sendiri. Perbedaan besar antara kecepatan migrasi elektron dan kecepatan migrasi ion dalam pelepasan memungkinkan elektron mencapai kecepatan gerakan yang lebih besar pada waktu tertentu, sementara kecepatan ion yang lebih lambat menyebabkan akumulasi. Elektroda frekuensi tinggi berada pada potensial negatif untuk sebagian besar setiap siklus, yang menghasilkan tegangan negatif pada medan, yang merupakan fenomena bias sendiri dari elektroda frekuensi tinggi.

Bias diri yang dihasilkan oleh elektroda pelepasan RF mempercepat pemboman ion pada elektroda katode untuk terus memancarkan elektron Sekunder guna mempertahankan proses pelepasan, dan bias diri memainkan peran yang sama dengan penurunan katode dalam pelepasan pijar DC. Meskipun menggunakan catu daya RF, pelepasan dapat stabil karena tegangan bias diri yang dihasilkan oleh elektroda frekuensi tinggi mencapai 500-1000V.

3. Pelepasan frekuensi radio memainkan peran penting dalam pelepasan cahaya tekanan atmosfer dan pelepasan cahaya penghalang dielektrik yang diperkenalkan kemudian.