Մետաղական օրգանական քիմիական գոլորշիների նստեցում

Մետաղաօրգանական քիմիական գոլորշիների նստեցման (MOCVD), գազային նյութի աղբյուրը մետաղաօրգանական միացություն գազն է, և նստեցման հիմնական ռեակցիայի գործընթացը նման է CVD-ին։

1.MOCVD հում գազ

MOCVD-ի համար օգտագործվող գազային աղբյուրը մետաղ-օրգանական միացությունների (MOC) գազն է: Մետաղ-օրգանական միացությունները կայուն միացություններ են, որոնք ստացվում են օրգանական նյութերը մետաղների հետ միացնելով: Օրգանական միացություններն ունեն ալկիլային, արոմատիկ միացություններ: Ալկիլային միացությունները ներառում են մեթիլ, էթիլ, պրոպիլ և բուտիլ: Ալկիլային միացությունները ներառում են մեթիլ, էթիլ, պրոպիլ և բուտիլ: Արոմատիկ միացությունները ներառում են ֆենիլային հոմոլոգներ՝ տրիմեթիլ գալիում, [Ga(CH3₃)₃], տրիմեթիլ ալյումին [Al(CH₃)₃] միկրոէլեկտրոնիկայի, օպտոէլեկտրոնիկայի, կիսահաղորդիչների նստեցման համար թաղանթային շերտի երեք, հինգ միացություններում, ինչպիսիք են Ga(CH3)-ը։₃)₃ և ամոնիակը կարող է լինել սիլիցիումային թիթեղի կամ շափյուղայի մեջ՝ LED լամպերի էպիտաքսիալ աճի վրա՝ InGaN լյումինեսցենտային շերտում: LED լամպերը ավելի քան 90% էներգախնայողություն ունեն, քան վոլֆրամե շիկացման լամպերը, ավելի քան 60% էներգախնայողություն՝ լյումինեսցենտային լամպերը: LED լամպերը 90%-ով ավելի էներգաարդյունավետ են, քան վոլֆրամե շիկացման լամպերը և 60%-ով ավելի էներգաարդյունավետ, քան լյումինեսցենտային լամպերը: Այսօր բոլոր տեսակի փողոցային լամպերը, լուսավորության լամպերը և ավտոմեքենաների լամպերը հիմնականում օգտագործում են MOCVD-ի կողմից արտադրված LED լույս արձակող թաղանթներ:

2. Նստեցման ջերմաստիճանը

Օրգանական մետաղական միացությունների քայքայման ջերմաստիճանը ցածր է, իսկ նստեցման ջերմաստիճանը՝ ավելի ցածր, քան HCVD-ինը: MOCVD-ի միջոցով նստեցվող TiN-ի նստեցման ջերմաստիճանը կարող է նվազել մինչև մոտ 500 աստիճան:

- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա